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- 產(chǎn)品名稱：多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)-GSL-LCD(控制面板為觸摸屏）
- 產(chǎn)品型號(hào)：
- 產(chǎn)品展商：其它品牌
- 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
- 發(fā)布時(shí)間：2018-03-30
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簡(jiǎn)單介紹
多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)-GSL-LCD(控制面板為觸摸屏）
產(chǎn)品描述
GSL-LCD是一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里，移動(dòng)柜*大可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí)，可將管式爐置于移動(dòng)柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一6"的觸摸屏上，同時(shí)可以實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。
操作視頻
技術(shù)參數(shù)
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功能
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雙通道
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三通道
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四通道
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五通道
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質(zhì)子流量控制器
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工作溫度：5~45oC
*大壓力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用
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工作溫度：5~45 oC
*大壓力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用
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工作溫度: 5~45 oC
*大壓力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用
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工作溫度: 5~45 oC
*大壓力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客戶要求定制
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輸入電源
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AC 220V/50Hz單相
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功率
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23W
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PLC觸摸屏
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各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一6"的觸摸屏上
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RS485 通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進(jìn)行遠(yuǎn)程控制
 
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機(jī)械壓力表
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有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接
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量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
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針閥
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316 不銹鋼
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通氣管道
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內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管
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外部通氣管道為1/4”聚四氟管
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混氣罐
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Φ80X120mm
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截止閥及配件
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外形尺寸
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600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
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CE認(rèn)證
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質(zhì)保期
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一年質(zhì)保期，終身維護(hù)
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