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- 產(chǎn)品名稱:1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)--SGL-1700X-HVC
- 產(chǎn)品型號:
- 產(chǎn)品展商:上海升利
- 產(chǎn)品文檔:無相關文檔
- 發(fā)布時間:2018-07-16
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簡單介紹
1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)--SLG-1700X-HVC
產(chǎn)品描述
SLG-1700X-HVC是一款CE認證的二通道高真空CVD系統(tǒng),它是由二路質子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成,其*高工作溫度可達1600℃,極限真空度可達 to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對兩種氣體進行**的混氣,然后導入到管式爐內(nèi)部。
技術參數(shù)
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GSL-1700X 系列管式爐
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殼體
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采用雙層殼體結構,并帶有風冷,使得殼體表面的溫度 < 55°C.
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內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命
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保溫材料采用高純氧化鋁纖維,環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失
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真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動架上,方便移動.
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儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭,閥門,高真空機組
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爐管
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材質: 高純氧化鋁陶瓷管
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一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上
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(標配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L
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(選配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x 1000mm L
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功率
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6KW
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工作電壓
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AC 208-240V單相, 50/60Hz
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加熱元件
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8 根1800°C grade MoSi2 heating element
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工作溫度
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*高工作溫度.: 1650°C
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連續(xù)工作溫度.: 1600°C
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升溫速率
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≤5°C/min
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加熱區(qū)長度
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加熱區(qū)長度: 457 mm (18")
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恒溫區(qū)長度: 150 mm (6")(+/-1°C) 注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結果可能會有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請與我公司銷售人員聯(lián)系
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溫控系統(tǒng)
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采用PID方式自動控制,并可設置30段升降溫程序
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控溫精度: ±1°C
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控溫儀表操作視頻
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熱電偶: B 型,已經(jīng)安裝在爐內(nèi)
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真空法蘭
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一對不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝
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法蘭上帶有一機械壓力表
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兩個精密針閥
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一個KF-25連接器 和KF-25 轉 KF-40 抽氣接口
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一個1/4"卡套接頭
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外形尺寸
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550 x 380 x 520mm
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高真空機組
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功率
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100~110W
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工作電壓
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AC 208-240V單相, 50/60Hz
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外形尺寸
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600(L) x 600(W) x 700(H), mm
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殼體
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殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
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*大承載量: 600 Lbs on top
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分子泵控制面板: LCD 數(shù)字顯示
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內(nèi)裝有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany:
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控制面板
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一鍵操作:按下"start" 鍵后,隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動(隔膜泵先啟動等真空度達到10-2mbar后,分子泵自動啟動)
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系統(tǒng)控制旋轉速率:根據(jù)腔體內(nèi)的真空度,系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉速率
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抽氣速率
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N2 33 L/s
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He 39 L/s (2340L/minute)
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H2 32 L/s
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工作范圍
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1000 mbar to <1E-7 mbar
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極限
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<1E-8 mbar (without any leaking )
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質量流量控制器
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殼體
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采用 316不銹鋼制作
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混氣箱尺寸: Φ80X120mm
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外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm
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MFC控制面板 (Click to enlarge),可根據(jù)客戶要求定制
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功率
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18W
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工作電壓
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AC 208-240V, 單相, 50/60Hz
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質保期
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一年質保期,相關耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件
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CE認
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所有電器元件(>24V)都通過了UL/MET/CSA認證
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若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證
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Operation Manual