- 如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話，可以
- 產(chǎn)品名稱：1200°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng) --OTF-1200X-HVC
- 產(chǎn)品型號(hào)：
- 產(chǎn)品展商：其它品牌
- 產(chǎn)品文檔：無(wú)相關(guān)文檔
- 發(fā)布時(shí)間：2018-03-30
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簡(jiǎn)單介紹
1200°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)--OTF-1200X-HVC
產(chǎn)品描述
OTF-1200X--HVC是由OTF-1200X-單溫區(qū)管式爐，二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成。其*高工作溫度可達(dá)1200℃，極限真空度可達(dá) 10-5 torr。混氣系統(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行**的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。
技術(shù)參數(shù)
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OTF-1200X系列 管式爐
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殼體結(jié)構(gòu)
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采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷.使得殼體表面的溫度小于60度
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內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
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爐管
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材質(zhì): 高純石英管
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石英管包含在內(nèi).
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可以選擇其他管徑
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功率
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2.5KW
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工作電壓
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AC 208-240V 單相, 50/60Hz
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加熱元件
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Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo，（電阻絲表面涂有氧化鋯涂層，*大程度的延長(zhǎng)加熱元件的使用壽命）
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工作溫度
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*高工作溫度.: 1200°C
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連續(xù)工作溫度: 1100°C
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加熱速率
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加熱速率: 1~20°C/min 可編程
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加熱區(qū)長(zhǎng)度
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總加熱區(qū)長(zhǎng)度: 440mm
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恒溫區(qū)長(zhǎng)度. : 150mm (±1°C) 注：由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系
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控溫系統(tǒng)
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PID自動(dòng)控制方式，可設(shè)置30段升降溫程序
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控溫儀表操作視頻
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控溫精度: ±1°C
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熱電偶: K 型已經(jīng)安裝在爐內(nèi)
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真空密封
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一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭，已經(jīng)安裝
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法蘭上已經(jīng)安裝機(jī)械壓力表
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一對(duì)精密針閥
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KF-40 的抽氣接口
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功率
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100~110W
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工作電壓
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AC 208-240V , 50/60Hz
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高真空機(jī)組
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殼體
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殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
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*大承載量: 600 Lbs on topf:
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分子泵顯示屏： LCD 數(shù)字顯示
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殼體內(nèi)安裝有一臺(tái)德國(guó)制造的分子泵
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抽氣速率
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N2 33 L/s
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He 39 L/s (2340L/minute)
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H2 32 L/s
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工作范圍
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1000 mbar to <1E-7 mbar
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極限
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<1E-8 mbar (無(wú)泄漏)
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質(zhì)量流量控制器
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殼體
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采用 316不銹鋼制作
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混氣箱尺寸: Φ80X120mm
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外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm
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功率
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18W
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工作電源
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AC 208-240V, Single phase, 50/60Hz
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開(kāi)門斷電
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為保證使用**，該電爐為開(kāi)門斷電設(shè)計(jì)
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質(zhì)保期
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一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管密封圈加熱元件等易耗件
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CE認(rèn)證
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所有電器元件（>24V）都通過(guò)UL / MET / CSA認(rèn)證
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若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
    
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使用注意事項(xiàng)
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爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
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由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加****
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當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)
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進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
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石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃
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對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
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