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- 產(chǎn)品名稱：混氣系統(tǒng)3路浮子
- 產(chǎn)品型號：
- 產(chǎn)品展商：上海升利
- 產(chǎn)品文檔：無相關文檔
- 發(fā)布時間：2018-03-30
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簡單介紹
混氣系統(tǒng)3路浮子用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制，結(jié)合我公司的管式爐，可作用CVD系統(tǒng)和退火爐去研究氣體環(huán)境影響材料。在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。
產(chǎn)品描述
技術參數(shù)
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名稱
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混氣系統(tǒng)3路浮子
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浮子流量計
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三種不同量程的浮子流量計，控制精度4%
·A：10 - 100mL/min
·B：16 - 160mL/min
·C：25 - 250mL/min
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機械壓力表（混氣罐）
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·-0.1-0.15 Mpa
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接頭和氣管
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·在混氣系統(tǒng)右側(cè)安裝三個氣體進口
·兩通道氣體流入氣體混合罐，另一個通道氣體不通過氣體混合管
·兩個出口（可連接管式爐）安裝在混氣系統(tǒng)的左側(cè)（一路混合氣體和一路單獨的氣體）
·12”長1/4”直徑的聚四氟管及快插接頭
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真空針閥
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·采用ss304不銹鋼
·安裝在混氣系統(tǒng)的右側(cè)
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安裝帶剎車的轉(zhuǎn)向輪
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外形尺寸：600 mm L x 600 mm W x 650 mm H
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可選
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CVD或者PECVD 液相氣體發(fā)生器
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凈重
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約75 Kg
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質(zhì)保期
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一年保修，終身技術支持。
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
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