爐子

加熱元件

8根紅外燈管(D=10 L=300 T =200, mm)

工作溫度

· *高1100°C

· 爐子可以加熱到1100°C, 可以打開上蓋進(jìn)行快速冷卻

*快升溫速度

室溫~800℃： 50 ^oC/sec ，800℃~1000℃ 10^oC/sec

*快降溫速度

64°C/min (在真空: 200 mtorr下), 117°C/min (在一個大氣壓下)

加熱區(qū)

4" X12"恒溫區(qū)（ +/-5°C ）

溫控儀

· PID 自動控制，30段程序帶過熱和斷偶保護(hù)功能

· 熱偶: K type

· 自整定功能

· 控溫精度: +/- 0.5°C

· RS485 串口和溫控軟件

石英管和樣品架

· 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length

· 3" 的樣品架固定在滑動法蘭上，石英材料

· 一片3"  AlN 片放在樣品架上用來放置需要退火的樣品。

· AlN 具有很高的熱導(dǎo)率，所以在樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性。

真空法蘭

· 帶KF-D25 高真空法蘭由不銹鋼制作，兩個高溫“O”型圈密封，.

· 滑動法蘭使裝載樣品很容易. 3" 樣品架和內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準(zhǔn)確。

· 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)測量其真空度，其測量范圍為3.8x10-5 至1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換

流量計(jì)

裝在前面板上一路流量計(jì)調(diào)整范圍 16 - 160 ml/min

電源

208-240 AC, 50/60 Hz 單相,

*大功率12KW. (> 60A 保險)

結(jié)構(gòu)

· 移動架尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(W), mm

· *大承重:       600 Lbs

· 分子泵控制面板 :   LCD 顯示

· 前級泵 和 分子泵 安裝在移動架里面.

高真空系統(tǒng)

真空度

6.3E-5 mbar ( 4" RTP 管式爐在 40 minutes內(nèi))

控制面板

· 一鍵操作 - 按一下“start"鍵，前級泵和分子泵便開始工作.

· 系統(tǒng)控制轉(zhuǎn)速 - 根據(jù)真空度和腔體的漏氣情況自動調(diào)整轉(zhuǎn)速.

· 自保護(hù)功能 - 如果真空腔體漏氣率太高不能達(dá)到高真空，系統(tǒng)會自動保護(hù)，避免因過熱或過流而造成損壞。

· LCD 顯示屏 - 雙線性參數(shù)檢查界面，使操作更簡單.

啟動時間

2 minutes

前級泵在10mbar下的流速

3.8 L/min   50Hz ， 4.4 L/min  60Hz

電源

110V AC 和220V AC 任意切換, 50/60Hz

功率

*大: 110Watt

使用注意事項(xiàng)：

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加****

· 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管??不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)

· 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

· 石英管的長時間使用溫度＜1100℃

· 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

保修期

一年保修，終身技術(shù)支持

免責(zé)聲明

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