SKJ-50CZ是一款高質(zhì)量的CZ晶體生長(zhǎng)爐，可針對(duì)于材料的實(shí)驗(yàn)探索，也可以適用于晶體材料的生產(chǎn)。此款晶體生長(zhǎng)爐已經(jīng)被證實(shí)可以提拉各種氧化物單晶和金屬單晶，如藍(lán)寶石、GGG, YAG, LaAlO3 , Si 和 Ge 等，*高溫度可達(dá)2100℃，*大可長(zhǎng)出晶體尺寸為3英寸。
技術(shù)參數(shù)
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感應(yīng)射頻功率為25KW，射頻0.2 - 20 KHz
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提拉速度 :0.1- 20 mm/h，仔晶桿旋轉(zhuǎn)速度0 ~~ 40 RPM
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*大提拉行程：50CM
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*大可熔融溫度為：2100℃
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輸入電源：三相，380V，25KW
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真空腔體尺寸為 ：50 cm dia. X 70 cm h，其真空度可以達(dá)到10-3 torr（用機(jī)械泵）10-5 tor（用擴(kuò)散泵）
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冷卻水需求：
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所需水壓 0.13~~0.18MPa
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所需水流量60 L/minute
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冷卻水會(huì)同多爐腔體夾層和仔晶桿
產(chǎn)品尺寸:
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爐體: L880x W1250x H2640mm
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控制柜:L680x W540x H1700mm
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中頻柜: L965xW 812xH 1219mm
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產(chǎn)品凈重 1.5 T
