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上海升利測試儀器有限公司
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主營:我公司主要産品有:可程式高低溫箱、恒溫恒濕箱、冷熱衝擊箱、鹽霧試驗(yàn)箱、老化箱、精密高溫箱、耐候試驗(yàn)箱、加速壽命試驗(yàn)機(jī)、及力學(xué)方面的振動機(jī)、恒溫恒濕加振動綜合試驗(yàn)機(jī)、跌落機(jī),干燥箱、燃燒試驗(yàn)機(jī)。 高溫爐。管式爐、氣氛爐等
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產(chǎn)品詳情

雙通道ALD管式爐系統(tǒng)--ALD--1200X-4[產(chǎn)品打印頁面]

  • 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
  • 產(chǎn)品名稱:雙通道ALD管式爐系統(tǒng)--ALD--1200X-4
  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品展商:其它品牌
  • 產(chǎn)品文檔:無相關(guān)文檔
  • 發(fā)布時(shí)間:2018-03-30
  • 在線詢價(jià)
簡單介紹
雙通道ALD管式爐系統(tǒng)--ALD--1200X-4
產(chǎn)品描述

ALD-1200X-4是一款4英寸管式爐系統(tǒng),包含用于原子層沉積的2個(gè)ALD進(jìn)氣閥、1個(gè)精密液體氣相發(fā)生器以及用于CVD生長納米材料和薄膜材料的4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)。該管式爐系統(tǒng)簡潔的設(shè)計(jì)使得更多的科研院所能夠在可負(fù)擔(dān)的低成本情況下實(shí)現(xiàn)ALD工藝實(shí)驗(yàn)。


  • 相關(guān)文獻(xiàn):Negating interfacial impedance in garnet-based solid-state Li metal batteries


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技術(shù)參數(shù)

控制面板

  • 蒸汽壓力、ALD以及氣體流量參數(shù)均可通過一6英寸接觸屏由PLC進(jìn)行控制
  • 兩個(gè)ALD進(jìn)氣閥
  • 請點(diǎn)擊下圖查看控制面板(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)


ALD進(jìn)氣閥

兩個(gè)ALD脈沖電磁閥(*小可在10ms完成閥門的開啟或關(guān)閉)
精密液體氣相發(fā)生器
精密液體氣相發(fā)生器包含在本系統(tǒng)中并且連接到ALD進(jìn)氣
雙溫區(qū)管式爐
  • 連續(xù)工作的*高溫度為1100℃
  • 個(gè)溫區(qū)由兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)來控制,而且都為PID30段程序化控溫
  • 每個(gè)加熱區(qū)長度為200mm,加熱區(qū)總長度為400mm
  • 如兩區(qū)域加熱至同一溫度時(shí),恒溫區(qū)長度為250mm
  • 爐管兩端放置管堵時(shí)兩溫區(qū)的*大溫度差為500℃
  • 輸入電壓:208-240V AC,單向
  • *大功率為4KW
防腐型數(shù)顯真空計(jì)
  • 測量范圍:3.8x10-5 -1125 Torr
  • 耐腐蝕
  • 對于氣體的壓力檢測具有較高的**度和重復(fù)性
  • 可實(shí)現(xiàn)快速的氣體監(jiān)測,響應(yīng)時(shí)間較短
  • 易于更換插頭及傳感元件
真空泵(選配)
  • 管內(nèi)真空度可達(dá)10-2Torr
  • 真空泵不包含在本系統(tǒng)內(nèi),如您進(jìn)行CVD實(shí)驗(yàn)可點(diǎn)擊下圖選購無油渦旋真空泵
混氣系統(tǒng)
  • 可選購氣液混合裝置,用于CVD系統(tǒng)
  • 可選購恒溫控制模塊
  •  


更新觀念
  • 您可采用ALD設(shè)備搭建等離子增強(qiáng)原子層沉積+化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PE-ALD+CVD)和等離子增強(qiáng)原子層沉積+物**相沉積+化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PE-ALD+PVD+CVD),用于生長各類材料
  • ( PE-ALD+CVD) ( PE-ALD+PVD +CVD)


質(zhì)保期

一年保質(zhì)期,終身維護(hù)(不包含爐管,加熱元件和密封圈)

  • CE認(rèn)證
  • 所有電器元件(>24V)均滿足UL/MET/CSA認(rèn)證
  • 如您另付費(fèi)用,我們可保證單臺儀器通過TUVUL61010)或CSA認(rèn)證


注意事項(xiàng)
  • 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
  • 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會更加****
  • 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)
  • 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
  • 點(diǎn)擊此處了解如何選擇本公司石英/陶瓷管以及管式爐真空法蘭
  • 本公司有權(quán)隨時(shí)修改PE-CVD系統(tǒng)的設(shè)計(jì)不再另行通知,但我們保證修改之后的儀器質(zhì)量可以達(dá)到和超過上述標(biāo)準(zhǔn)
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