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- 產(chǎn)品名稱:雙通道ALD管式爐系統(tǒng)--ALD--1200X-4
                        
- 產(chǎn)品型號:
- 產(chǎn)品展商:其它品牌
- 產(chǎn)品文檔:無相關(guān)文檔
- 發(fā)布時(shí)間:2018-03-30
- 在線詢價(jià)
 
            
                簡單介紹
                
                    雙通道ALD管式爐系統(tǒng)--ALD--1200X-4
             
            
                產(chǎn)品描述
                
                    
	
		  ALD-1200X-4是一款4英寸管式爐系統(tǒng),包含用于原子層沉積的2個(gè)ALD進(jìn)氣閥、1個(gè)精密液體氣相發(fā)生器以及用于CVD生長納米材料和薄膜材料的4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)。該管式爐系統(tǒng)簡潔的設(shè)計(jì)使得更多的科研院所能夠在可負(fù)擔(dān)的低成本情況下實(shí)現(xiàn)ALD工藝實(shí)驗(yàn)。 
	
	
		
	
	
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			相關(guān)文獻(xiàn):Negating interfacial impedance in garnet-based solid-state Li metal batteries 
		
		
	
	
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