供氣（混氣）系統(tǒng)
本供氣（混氣）系統(tǒng)可用于多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)，尤其方便多種氣體的切換混合使用；氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，操作方便；每一條氣體管路均有一個(gè)高壓截止閥，**可靠！
本系統(tǒng)廣泛用于CVD供氣系統(tǒng)，氣體保護(hù)燒結(jié)，氣體保護(hù)退火等。
主要特點(diǎn)：
1．本配比器適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其是方便三種氣體切換使用，而不會(huì)造成大氣進(jìn)入加熱爐管。
2．氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實(shí)用，操作簡(jiǎn)便。
3．每一條氣體管路均有一個(gè)高壓截止閥，**有保證。
4．顯示流量準(zhǔn)確，可有效地控制氣體消耗量。
5．所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。
技術(shù)參數(shù)：
氣路通道：4（可根據(jù)客戶需求設(shè)計(jì)1-8通道）
氣路流量控制器采用質(zhì)量流量計(jì)控制：
標(biāo)準(zhǔn)量程（N2） ：200，500 SCCM
準(zhǔn) 確 度 ：±1.5%
線 性 ：±0.5～1.5%
重 復(fù) 精 度 ：±0.2%
響 應(yīng) 時(shí) 間 ：氣特性 1～4 See
電特性 10 See
工作壓差范圍 ：0.1～0.5 MPa
* 大 壓 力 ：3 MPa
接 口 ：Φ6,1/4”
顯 示 ：4位數(shù)字顯示
工作環(huán)境溫度:5~45℃
高純氣體不銹鋼管：Φ6外X Φ4內(nèi)
壓 力 真 空 表 ：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截 止 閥 ：Φ6