真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)。是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺(tái)設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。真空燒結(jié)爐使用有哪些注意事項(xiàng)以及日常應(yīng)急計(jì)劃？跟小編一起來(lái)看看吧！
一、真空燒結(jié)爐的使用必備技巧
真空燒結(jié)爐是在抽真空后充氫氣保護(hù)狀態(tài)下，利用中頻感應(yīng)加熱的原理，使處于線圈內(nèi)的鎢坩堝產(chǎn)生高溫，通過(guò)熱輻射傳導(dǎo)到工作上，適用于科研、**單位對(duì)難熔合金如鎢、鉬及其合金的粉末成型燒結(jié)。安裝電爐的場(chǎng)所應(yīng)符合真空衛(wèi)生的要求，周圍的空氣應(yīng)清潔和干燥，并有良好的通風(fēng)條件，工作場(chǎng)地不易揚(yáng)起灰塵等。
真空燒結(jié)爐的日常使用技巧：
1、檢查控制柜中所有部件及配件是否完備、完好。
2、控制柜安裝在相應(yīng)的地基上，并固定。
3、安照接線圖，并參考電氣原理圖，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保證接線無(wú)誤。
4、檢查電器可動(dòng)部分應(yīng)活動(dòng)自如，無(wú)卡死現(xiàn)象。
5、絕緣電阻應(yīng)不低于2兆歐姆。
6、真空電爐各閥門必須在關(guān)閉位置。
7、控制電源開(kāi)關(guān)放在關(guān)位。
8、手動(dòng)調(diào)壓旋鈕逆時(shí)針旋動(dòng)頭。
9、報(bào)警鈕放在開(kāi)位。
10、按平面圖完成設(shè)備的循環(huán)冷卻水聯(lián)接，建議用戶在設(shè)備總進(jìn)出水管處再接入一備用水（可用自來(lái)水），防止循環(huán)水有故障或斷電導(dǎo)致密封圈燒壞。
小編特別提醒使用真空燒結(jié)爐時(shí)如下幾點(diǎn)需特別注意：
1、由于模具一般由用戶自備，模具材料基本上選用高純石墨，其耐壓極限為40MPa，建議用戶使用在30MPa以下比較**，加壓前應(yīng)計(jì)算模具上、下沖頭的面積，再換算成壓力，具體公式如下：
系統(tǒng)允許加壓（噸）=上或下沖頭面積×30MPa
2、熱電偶為鎢錸型，使用過(guò)會(huì)發(fā)脆，不能接觸。如損壞應(yīng)及時(shí)更換。其型號(hào)是W2型。
3、冬天應(yīng)注意循環(huán)水的保暖問(wèn)題，否則易發(fā)生水管爆裂。
4、使用后爐體應(yīng)保持真空，因爐內(nèi)保溫層易受潮，保真空這樣下次抽真空會(huì)快些。
5、因設(shè)備較復(fù)雜，建議專人使用，專人負(fù)責(zé)，對(duì)新手嚴(yán)格實(shí)行用前培訓(xùn)，用后檢查，操作使用要有記錄等設(shè)備使用規(guī)定。
6、本熱壓爐也可當(dāng)作真空燒結(jié)爐使用，用于真空燒結(jié)爐時(shí)注意，在爐內(nèi)放置坩堝后，在蓋上保溫屏蓋后不要忘記再蓋其中間的小蓋。否則易燒損電爐。
7、操作前應(yīng)做到清潔觀察窗玻璃，清潔爐內(nèi)壁，觀察水壓情況，觀察爐內(nèi)石墨是否有損壞，上電后觀察儀表顯示是否正常，測(cè)試液壓系統(tǒng)能否正常工作。
8、電爐使用一年后應(yīng)將儀表后送計(jì)量部門進(jìn)行校對(duì)。
二、真空燒結(jié)爐的應(yīng)急方法
冷卻水異常：
1、確認(rèn)加熱電源已停止。
2、爐外發(fā)生漏水，冷卻水量異常時(shí)，應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施，如能保證水量，請(qǐng)繼續(xù)保持真空，如不能采取應(yīng)急措施，保持原狀，確認(rèn)設(shè)備冷卻下來(lái)。
3、冷卻水發(fā)生異常時(shí)，設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài)，馬上接通緊急用冷卻水。
4、在高溫（超過(guò)200℃即視為高溫）時(shí)，如果冷卻水停止了，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。
壓縮空氣的停止：
1、壓縮空氣異常報(bào)警時(shí)，設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài)，應(yīng)盡快到備用的壓縮機(jī)房，讓其恢復(fù)工作。
2、真空中如壓縮空氣異常報(bào)警，且恢復(fù)需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí)，則終止真空，讓設(shè)備停下來(lái)。
突然停電：
1、停電時(shí)，如果斷水，應(yīng)立即接通備用的冷卻水，接通水源。
2、如果在非升溫、加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備，繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需要較長(zhǎng)時(shí)間，則將設(shè)備保持原狀。
3、如果正在加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備，如果需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí)，則保持原狀，讓設(shè)備自然冷卻下來(lái)。
加熱電源掉電：
1、水壓低，當(dāng)水壓低于0.15MPa，壓力表報(bào)警。
2、接地故障。
3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。
4、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(shí)（此真空度容易發(fā)生放電）。電源出現(xiàn)故障，掉電的原因可以認(rèn)為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。
充氣氣體（氬氣或氮?dú)猓┩Ｖ梗?
1、抽真空開(kāi)始前，氣體充入時(shí)間長(zhǎng)或者無(wú)法充入時(shí)，請(qǐng)確認(rèn)氣體管路是否被堵塞。
2、如氣體管路沒(méi)問(wèn)題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動(dòng)作，為了**與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要全部停止后再進(jìn)行檢查。
3、向真空室內(nèi)充氣不能停止的情況下，泄壓閥動(dòng)作如泄壓閥動(dòng)作時(shí)，要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內(nèi)的所有氣體系統(tǒng)。
4、確認(rèn)氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會(huì)影響制品質(zhì)量。
真空室壓力惡化：
1、真空排氣時(shí)間比通常長(zhǎng)時(shí)，應(yīng)把設(shè)備停下來(lái)進(jìn)行檢查，根據(jù)真空室內(nèi)構(gòu)造物不同狀態(tài)下放氣的影響，也有導(dǎo)致壓力升高的情況。
2、通過(guò)壓力上升測(cè)試或者用氦氣檢漏來(lái)確認(rèn)是漏氣還有放氣的影響。
以上內(nèi)容就是小編為大家介紹的真空燒結(jié)爐的使用必備技巧及日常應(yīng)急方法，在真空和保護(hù)性氣氛中，對(duì)金屬、陶瓷及一些難熔金屬中間化合物粉末加熱燒結(jié)，要獲得一定密度和具有一定機(jī)械性能的材料時(shí)，一般采用兩種工藝；即有壓燒結(jié)和無(wú)壓燒結(jié)。有壓燒結(jié)具有溫度高、真空度高、熱壓力高的特點(diǎn)。