晶體退火爐是我公司新推出的一款用于晶棒、晶片、新去式的爐。該爐采用進口1900型硅鉬棒作為發(fā)熱體和本公司的氧化鋯內(nèi)襯爐膛。可在1700℃下連續(xù)使用，*高溫度達1800℃。側(cè)開門，易于樣品裝載，并可加裝通氣口，可在氧氣或惰性氣氛下操作殼體結(jié)構(gòu)，爐膛內(nèi)部溫度穩(wěn)定度達±1℃，*高溫度為1800℃。真空系統(tǒng)采用特種設(shè)計技術(shù)，具有操作**、方便、真空度好，極限真空度可達20KPa，密封性好，真空保持時間長。該氣氛爐可充入高壓氣體，氣氛壓力極限值0.1MPa，采用獨特的密封技術(shù)，可長時間保壓，案例性能好，操作方便。

晶體退火爐采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和40段程序控溫系統(tǒng)，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用進口1900型氧化鋁多晶體纖維材料，雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，能快速升降溫，采用外殼整體密封、蓋板密封采用硅膠泥、爐門采用硅膠墊并通有水冷系統(tǒng)，氣體經(jīng)過流量計后由后膛進出，該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點，是高校科研院所、工礦企業(yè)做氣氛保護燒結(jié)、氣氛還原用的理想產(chǎn)品。

晶體退火爐的氧化鋯氧量傳感器是根據(jù)濃差電池原理進行氧量測量的。氧量傳感器由兩個半電池組成，一個是已知氧分壓的鉑參比電極，另一個是待測氧含量電極。兩電極中間用固體電解質(zhì)－氧化鋯連接。由于兩個半電池的氧分壓不同，而氧化鋯電解質(zhì)又是氧離子導(dǎo)體，故在一定的溫度下，兩電極間產(chǎn)生的電動勢大小，是由兩個半電池的氧濃度差決定的。因而在固定參比電極氧分壓的情況下，由測得的電動勢就可以得到測量電極的氧分壓。電信號經(jīng)分析處理后，顯示的是對應(yīng)的氧含量。