（半導(dǎo)體）快速退火爐的快速熱處理技術(shù)是發(fā)展很快的半導(dǎo)體工藝新技術(shù)。該設(shè)備具有升溫速度快、密封好、溫度范圍寬、實(shí)驗(yàn)方便等特點(diǎn)?？捎糜诠杓盎衔锇雽?dǎo)體材料離子注入后的退火，硅化物的形成，歐姆接觸制備以及快速氧化，快速氮化等方面。
內(nèi)膽尺寸：寬530*深430*高220mm，外形尺寸（約）：寬 920 *深900 *高 740 mm。溫度范圍：室溫～+450℃可調(diào)（根據(jù)加熱板實(shí)際熱承受能力而定），加熱方式：采用鑄鋁加熱板，溫度波動(dòng)度：≤±1℃。溫度均勻度：測(cè)溫探頭的精度為±0.5℃，控溫點(diǎn)在加熱板上部對(duì)角兩點(diǎn)及測(cè)溫的側(cè)面一點(diǎn)， （恒溫空載狀態(tài)下）（加熱板的溫度均勻性±1℃）。升溫速率：≤8℃/min .空載時(shí)升溫速度：室溫到200℃在8分鐘內(nèi)到達(dá)，外殼溫度溫升不超過環(huán)境+25℃門周邊除外。電源三相五線制、380V、50HZ。總功率20KW，使用功率16KW。外殼材料外層A3厚2.0冷板。內(nèi)膽材料采用5mm厚SUS304不銹鋼板制作。
（半導(dǎo)體）快速退火爐的保溫材料：采用1400型纖維毯保溫，具有不可燃燒，隔熱性強(qiáng)等特點(diǎn)，厚度為60mm。煙氣隔離罩爐體左右后三個(gè)面用亞克力板圍起來，爐體正面做對(duì)開式門，四周用玻璃膠密封，開爐時(shí)可讓煙氣有效排除。密封材料密封條采用直徑10mm發(fā)泡硅膠條制作，可耐溫不變形，門與內(nèi)膽采用單層密封形式，加強(qiáng)密封效果。門上配兩個(gè)圓形觀察窗，爐門密封圈不易老化和燒壞，真空門裝有電腦控制氣缸開啟和關(guān)閉（閉合傳感器，確定門關(guān)閉）可90度運(yùn)動(dòng)。觀察窗采用圓形觀察窗口，觀察窗直徑80，生產(chǎn)過程一目了然。
控制系統(tǒng)的加熱部分采用導(dǎo)熱板加熱，帶水冷急速冷卻。冷卻部分的爐口方管及加熱板。電箱電箱與烘箱分離安裝，抽真空箱體抽氣口加裝電磁閥閥（帶過濾器）直徑100*180mm。氮?dú)獠糠值牡獨(dú)猓杓与姶砰y控制，氣管管徑直徑8mm，設(shè)備側(cè)面設(shè)有氮?dú)饨涌诤图姿峤涌?，并用一個(gè)三通的常閉電磁閥，其后再接一個(gè)電磁閥，以控制進(jìn)入腔體的氣體量，電磁閥使用方向按客戶要求進(jìn)出氣方向安裝。溫控部分采用微電腦智能型溫控器，控制器：采用臺(tái)灣琦勝HM-782S觸摸屏，精度高，穩(wěn)定性好，設(shè)有手動(dòng)，自動(dòng)，工業(yè)設(shè)定等功能，配日本三菱PLC控制器（FX2N-48MR）,與臺(tái)灣琦勝（型號(hào)PLL-2010-002A）可編程控制器通訊控制，能控制顯示3個(gè)溫區(qū)并能階梯式程序升溫，預(yù)留3個(gè)控溫探頭。流程合門鎖---抽真空---充氮?dú)?/span>---自動(dòng)加熱---溫度曲線---高溫抽真空---真空泵停止---冷卻降溫---停止充氮---電子門鎖---取料完成（供方負(fù)責(zé)加工，需方負(fù)責(zé)編程設(shè)計(jì)）。溫度傳感器：擱板兩個(gè)感溫探頭預(yù)留在加熱板頂部對(duì)角處，加熱板側(cè)面配一個(gè)超溫的感溫探頭，K型探頭PID溫度控制器需使用3個(gè)臺(tái)灣琦勝溫控器，2個(gè)程序表，1個(gè)顯示表。自動(dòng)恒溫的溫控器可根據(jù)用戶設(shè)定的溫度值，采用PID自動(dòng)計(jì)算輸出功率的大小，越接近溫度設(shè)定值時(shí)，輸出功率越小，以達(dá)到恒溫控制的目的，并可節(jié)能省電。真空度采用數(shù)顯ZDZ-52T/E 電阻真空計(jì)，傳感器采用成都睿寶品牌，10分鐘內(nèi)抽至20pa，20分鐘內(nèi)漏率80pa。電磁閥：（上海西馬特）電磁閥，1：真空擋板閥GDQ-7/KF16KF,2：截止閥（氮?dú)獬浼姿?、水、空?/span>GDC-A）3：壓差式充氣閥CYC-JQ
（半導(dǎo)體）快速退火爐接地保護(hù)結(jié)構(gòu)件**接地保護(hù)。電源缺相、相序保護(hù)配有相序保護(hù)器，環(huán)境溫度-5℃-40℃。相對(duì)濕度≤85%RH，電源AC380V±10%，50Hz。保護(hù)氣體，為了保護(hù)樣品和熱電偶在高溫時(shí)不氧化，應(yīng)在樣品盒中通入保護(hù)氣體，再次裝上樣品后，關(guān)上前蓋并鎖緊，稍等幾分鐘。讓保護(hù)氣體充滿樣品盒再啟動(dòng)。保護(hù)氣體流量為2~3L/min，*大不超過5L/min。