半導體二氧化碳傳感器 
半導體二氧化碳傳感器在 CO2氣體中電阻增大 ，輸出信號降低，在 (Co2)=0％ ～5％范圍內(nèi)大致呈對數(shù)線性關(guān)系。半導體二氧化碳傳感器 元件靈敏度隨加熱功耗的增加，其靈敏度先上升后下降，可歸結(jié)于CO2與元件中的CuO等堿性氧化物材料有如下平衡反應 ：Co2+CuO—— CuCO3 CuO吸收氣體中的CO2形成 CuCO 導致元件電阻增加。隨 CO2體積分數(shù)增大 CuCO3所 占的比例上升，元件靈敏度增大。元件在溫度升高時平衡雖向左移動，但 co2在 CuO上的吸附及脫附較快，元件的靈敏度較高，而在加熱溫度達 CuCO 分解點時靈敏度下降。在連續(xù)的跟蹤測試中，發(fā)現(xiàn)隨著時間的推移，CO2傳感器的輸出信號逐漸下降，而高溫加熱清洗后 (加熱功耗為1000 mW)，元件即可恢復正常。因此根據(jù)元件的漂移規(guī)律 ，采用定時高溫加熱清洗和單片機實時跟蹤補償?shù)霓k法，使元件有可能應用在實際環(huán)境中。
測試結(jié)果顯示，該CO2傳感器的響應時間在 2 min內(nèi)，恢復時間在5 min內(nèi)。響應恢復時間較長的原因應是CO2在CuO等堿性氧化物上吸附、形成的化合物難以脫附造成的．由于CO2傳感器的敏感材料中的氧化銅等吸水，有機蒸氣如乙醇、丙酮等與氧化銅反應引起元件的電阻增加。為了減小乙醇、水蒸氣等雜散氣體的影響，我們采用硅膠、活性炭過濾層濾去雜散氣體，達到了對 CO2的選擇性檢測，元件的穩(wěn)定性也得到了一定的改善。以氧化錫為主體材料 ，利用堿性氧化物做摻雜劑，可制出對 CO2有較好靈敏度的氣體二氧化碳傳感器 ，元件對 (cO2)<5％的氣體呈對數(shù)線性關(guān)系，利于對其進行標定。