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產品資料

光伏芯片擴散制程上下貨及檢測系統(tǒng)

光伏芯片擴散制程上下貨及檢測系統(tǒng)
  • 如果您對該產品感興趣的話，可以
  • 產品名稱： 光伏芯片擴散制程上下貨及檢測系統(tǒng)
  • 產品型號：Model 3775
  • 產品展商：Chroma
  • 產品文檔：無相關文檔
簡單介紹
通常用于芯片磷擴散的爐管制程。在擴散制程中致茂可提供客戶使用短版的晶舟， 或長版晶舟來上下載具的傳輸設備。芯片的傳送使用高速富撓性的取放機器人。致茂在擴散過程中提供的載具傳輸設備，低破片率，高產量和低成本可滿足客戶的擴散制程功能要求。
產品描述
 
主要特色：
  • 低破片率
  • 高產量
  • 機器人傳送取放
  • 表面檢查：選配
  • 上貨載具：石英晶舟
  • 下貨載具：Manz盒 / Cassette(選項)
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