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體視顯微鏡的打光技術(shù)
透射照明裝置又可分為普通透射照明、夾縫透射照明和投射斜照明。
透射照明一般用于觀察透明的標(biāo)本,比如卵細(xì)胞,胚胎發(fā)育等等。照射時(shí),光從下往上透過樣品,體視顯微鏡光源一般采用冷光源照明。一般**的透射底座都是冷光源(通過光纖傳導(dǎo)光,燈泡發(fā)的熱量不會傳導(dǎo)到樣本上,所以叫冷光源)。這種照明底座能夠提供明亮有效的照明,對比度可進(jìn)行連續(xù)調(diào)節(jié),具備具備有可調(diào)節(jié)的細(xì)長狹縫,能增加各種樣品的對比度,可通過內(nèi)置濾色片滑板調(diào)節(jié)亮度和色溫。
低檔的體視顯微鏡一般不用冷光源,而是在底座上直接安裝一個(gè)鹵素?zé)?。這樣的光源可以使照明底座發(fā)熱,長期工作,會有燙手的感覺。落射照明裝置主要有落射光纖照明、環(huán)形光照明和同軸落射照明。
落射照明一般用于不透明的標(biāo)本,如礦石、昆蟲和電路板等。光纖落射照明裝置的特點(diǎn)是安裝簡單靈活,可以任意調(diào)節(jié)照明的角度,特別是雙光纖照明??梢哉彰骼ハx、礦石等樣品。但是這種照明始終存在死角,而且因?yàn)槭切闭彰鳎赡軙嬖陉幱暗热秉c(diǎn);
環(huán)形光照明是在物鏡上面直接安裝一個(gè)環(huán)形的燈光(熒光燈光,或者LED)這樣就可以垂直照射樣品,解決了斜照明不能垂直照明的問題。
但是環(huán)形光照明也存在一個(gè)問題就是對于中心的照明不夠明亮,整個(gè)視野照明不夠均勻,所以有同軸落射照明的推出;同軸落射光照明裝置是在顯微鏡的內(nèi)部加裝照明光路,照明光經(jīng)過物鏡來照明這個(gè)樣本,這樣可實(shí)現(xiàn)超大視野的攝像范圍,且亮度平均、畫面清晰。在對晶圓片、液晶等圓形的辨認(rèn)或者瑕疵檢查、以及對校裝置、各種尺寸芯片的測量,F(xiàn)A裝置的自動化的檢查上表現(xiàn)**.
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