高純石墨板,質(zhì)量可靠。石墨板具有導(dǎo)電性好、耐高溫和易加工等良好特性,因此廣泛應(yīng)用于冶金、化工、電化學(xué)等工業(yè)當中。石墨板:普通規(guī)格和高強、高密度石墨防選用石油焦為原料,采用的生產(chǎn)工藝和設(shè)備生產(chǎn)具有密度大、抗壓和抗折強度高、氣孔率低等特點,為冶金爐、電阻爐、爐襯材料、化工設(shè)備,機械模具、異型石墨件加工選用材料。
1、用于等離子體增強化學(xué)氣相沉積法使用的PECVD石墨舟片、電極座、石墨螺絲、石墨螺帽。 2、用于硅外延設(shè)備,表面SiC涂層的立式、盤式、單片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂層石墨基座。 3、離子注入用石墨電極、襯塊、石墨屏蔽罩等配件,等離子刻蝕用石墨電極,半導(dǎo)體封裝制程用模具、高等級模板、治具。 4、感應(yīng)加熱鍺氧化物、區(qū)熔半導(dǎo)體材料、熔化高純度金屬的石墨坩堝、石墨舟皿及其配件,直拉鍺與化合物單晶的高純石墨加熱器、保溫罩等。 5、藍寶石HEM法生產(chǎn)中使用到的高純度石墨加熱器、石墨電極。