1、用于等離子體增強化學(xué)氣相沉積法使用的PECVD石墨舟片、電極座、石墨螺絲、石墨螺帽。
2、用于硅外延設(shè)備，表面SiC涂層的立式、盤式、單片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂層石墨基座。
3、離子注入用石墨電極、襯塊、石墨屏蔽罩等配件，等離子刻蝕用石墨電極，半導(dǎo)體封裝制程用模具、高等級模板、治具。
4、感應(yīng)加熱鍺氧化物、區(qū)熔半導(dǎo)體材料、熔化高純度金屬的石墨坩堝、石墨舟皿及其配件，直拉鍺與化合物單晶的高純石墨加熱器、保溫罩等。
5、藍(lán)寶石HEM法生產(chǎn)中使用到的高純度石墨加熱器、石墨電極。