耐高溫:可在1000℃~3000℃(取決于石墨等級(jí))下穩(wěn)定工作。 低放氣率:適用于高真空環(huán)境(如半導(dǎo)體、光伏設(shè)備)。
自潤(rùn)滑:摩擦系數(shù)低,減少螺紋磨損,適合反復(fù)拆裝。 耐腐蝕:抗酸堿侵蝕,適用于化學(xué)氣相沉積(CVD)、金屬熱處理等環(huán)境。 導(dǎo)電/導(dǎo)熱性:可用于需要導(dǎo)電或散熱的場(chǎng)合。
真空爐/高溫爐:用于固定加熱元件、隔熱層或爐內(nèi)組件。
半導(dǎo)體設(shè)備:在CVD、PVD、MOCVD等設(shè)備中固定石墨件。
光伏行業(yè):?jiǎn)尉Ч?、碳化硅長(zhǎng)晶爐的緊固件。
化工設(shè)備:耐腐蝕反應(yīng)釜、管道的連接件。
科研實(shí)驗(yàn)設(shè)備:高溫實(shí)驗(yàn)裝置的組裝。