耐高溫:可承受1000℃~3000℃(取決于石墨等級(jí))。
低放氣率:適用于高真空環(huán)境,減少污染。
化學(xué)穩(wěn)定性:耐酸堿腐蝕,不與大多數(shù)工藝氣體反應(yīng)。
良好的導(dǎo)熱性:可均勻散熱,避免局部過熱。
機(jī)械加工性能好:可定制不同形狀和尺寸。
真空爐:用于密封或調(diào)節(jié)氣流,防止外部空氣進(jìn)入。
單晶硅/碳化硅生長(zhǎng)爐:控制爐內(nèi)氣流分布,提高晶體生長(zhǎng)質(zhì)量。
半導(dǎo)體設(shè)備:在CVD(化學(xué)氣相沉積)、PVD等工藝中作為密封件。
冶金行業(yè):用于高溫爐的進(jìn)排氣系統(tǒng)調(diào)節(jié)。
石墨純度:高純度石墨(如等靜壓石墨)適用于高真空環(huán)境。
抗氧化處理:若用于氧化性氣氛,需進(jìn)行抗氧化涂層處理。
尺寸精度:需與爐體或管道匹配,確保密封性。
機(jī)械強(qiáng)度:根據(jù)壓力要求選擇不同密度的石墨。