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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：原裝精品 干式真空泵

  • 產(chǎn)品型號：EST25N
  • 產(chǎn)品廠商：EBARA荏原機械
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
EST型采用螺桿型轉(zhuǎn)子，可應對CVD等工藝副產(chǎn)物的生成，并具備大流量抽氣、 耐腐蝕性、抽氣速率可變、通信功能等額外功
詳情介紹：
EST型采用螺桿型轉(zhuǎn)子，可應對CVD等工藝副產(chǎn)物的生成，并具備大流量抽氣、 耐腐蝕性、抽氣速率可變、通信功能等額外功

特點
●可滿足副產(chǎn)物生成的工藝
（泵內(nèi)氣體可保持高溫）；
●抽氣速率高、流量大；
●搭載轉(zhuǎn)速自動控制功能
（自適應氣體流量大小）；
●可應對腐蝕性氣體
（標配耐腐蝕性材料）；
●搭載高性能通信功能；
●先進的控制管理方式
（數(shù)據(jù)保存功能、警報履歷備份）。

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