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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：EV-M型干式真空泵

  • 產(chǎn)品型號：EV-M202N
  • 產(chǎn)品廠商：EBARA荏原機械
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
EV-M 型可應(yīng)用于在半導(dǎo)體、液晶和太陽能電池制造工藝中有副產(chǎn)物生成的重 制程工藝。同時兼顧了對重制程工藝和節(jié)能的需求，實現(xiàn)了停機風(fēng)險的減少和 運行成本的降低。 ●產(chǎn)品系列豐富，可應(yīng)對多種工藝、抽氣速率需求； ●兼顧高負(fù)荷與低功耗； ●可應(yīng)對腐蝕性氣體（標(biāo)配耐腐蝕材料）。
詳情介紹：
EV-M 型可應(yīng)用于在半導(dǎo)體、液晶和太陽能電池制造工藝中有副產(chǎn)物生成的重 制程工藝。同時兼顧了對重制程工藝和節(jié)能的需求，實現(xiàn)了停機風(fēng)險的減少和
運行成本的降低。
特點
●產(chǎn)品系列豐富，可應(yīng)對多種工藝、抽氣速率需求；
●兼顧高負(fù)荷與低功耗；
●可應(yīng)對腐蝕性氣體（標(biāo)配耐腐蝕材料）。
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