圖1 噴嘴部分(上噴嘴和下噴嘴)
*1:測量位置由150mm×150mm 20pF板的CPM(帶電板監(jiān)視器)在實(shí)際工件位置測量(斷電時(shí)間為±1000V→±100V衰減時(shí)間)。
*2:請使用清潔干燥的送風(fēng)。 如果使用含水或含油的空氣,放電針會(huì)變臟,導(dǎo)致性能下降或?qū)е鹿收稀?
*3:本機(jī)調(diào)節(jié)器設(shè)定的壓力值。