石英玻璃是二氧化硅單一成分的非晶態(tài)材料，其微觀結(jié)構(gòu)是一種由二氧化硅四面結(jié)構(gòu)體結(jié)構(gòu)單元組成的單純網(wǎng)絡，由于Si-O化學鍵能很大，結(jié)構(gòu)很緊密，所以石英玻璃具有獨特的性能，尤其透明石英玻璃的光學性能非常優(yōu)異，在紫外到紅外輻射的連續(xù)波長范圍都有優(yōu)良的透射比。 石英玻璃采用高純度的硅砂作為原料，制作的傳統(tǒng)方法是熔融-淬滅方法（加熱材料到熔化溫度，然后快速冷卻到玻璃的固態(tài)相）；制作超高純度和紫外透射比的透明玻璃需硅的汽化、氧化成二氧化硅并加熱溶解等過程。純度是石英玻璃的重要指標，對理化性能和使用性能影響甚大，如失透性、高溫強度、軟化點、光的傳導、熱穩(wěn)定性、化學穩(wěn)定性、耐輻射性、熒光特性等；此外，用于半導體工業(yè)的石英玻璃，對純度的要求更為苛刻，微量的雜質(zhì)將給半導體材料的電性能和壽命以及集成度帶來嚴重的影響。
石英玻璃具有極低的熱膨脹系數(shù)，高的耐溫性，極好的化學穩(wěn)定性，優(yōu)良的電絕緣性，低而穩(wěn)定的超聲延遲性能，優(yōu)良的透紫外光譜性能以及透可見光及近紅外光譜性能，并有著高于普通玻璃的機械性能。石英玻璃片，通常由石英玻璃切割磨制而成，具有耐高溫、熱膨脹系數(shù)低、耐熱震性和電絕緣性能良好等特點。