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其他品牌 TS-RM2500 光譜共焦位移傳感器
共聚焦效應(yīng)*關(guān)鍵的就是將反射光聚焦到針孔上，然后光感應(yīng)器件接收透過針孔的光信號(hào)解析位移測量值，整個(gè)光學(xué)原理決定著測量光斑越小，系統(tǒng)分辨率和精度越高。日系和國產(chǎn)光譜共焦傳感器因?yàn)槭展饽芰θ?，系統(tǒng)穩(wěn)定性差，只能刻意放大測量光斑尺寸，以至傳感器精度嚴(yán)重下降，但是從分辨率上不會(huì)明顯顯現(xiàn)，其實(shí)把傳感器的測量光斑做的超大就像把傳感器做成了“智障”。THINKFOCUS光譜共焦位移傳感器測量光斑基本在10-20um。傳感器的橫向分辨率是測量光斑的一半，測量光斑大小決定了傳感器的橫向分辨率，比如測量一個(gè)0.1mm寬的邊沿臺(tái)階，必須使用光譜共焦傳感器。
參考距離：5.75mm 測量范圍：±0.75mm 光斑直徑：Φ20μm 測量角度：±14° 靜態(tài)噪聲*2：80nm 線性誤差：＜±0.3μm 橫向分辨率：10μm 外徑*長度：φ8*47.7 m