使用潛水換能器 400 kHz+600 kHz/1 MHz+2 MHz，可靈活且經(jīng)濟(jì)高效地進(jìn)行改造
由不銹鋼或塑料（例如：PVDF或PFA）制成的完全封裝換能器，安裝在現(xiàn)有水槽的底部或側(cè)壁。除了4英寸、6英寸和8英寸基板的標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)外，還提供定制的解決方案。
這一靈活的配置允許一個(gè)方便的改裝與兆聲系統(tǒng)在現(xiàn)有水槽。
在世界各地，SONOSYS®代表獨(dú)特的未來**解決方案。這尤其適用于頻率為400 kHz/600 kHz/1 MHz和2 MHz的Megasonic系統(tǒng)。
極為均勻的能量傳輸確保了迄今為止未達(dá)到的清潔性能，同時(shí)為微結(jié)構(gòu)提供了*好的保護(hù)。世界上****的：我們的換能器系統(tǒng)，擁有正在申請(qǐng)**的壓電陶瓷，可以實(shí)現(xiàn)40%以上的聲壓或高達(dá)30%的效率。
應(yīng)用：基板、半導(dǎo)體晶圓、微零件和微系統(tǒng)（MEMS）的清潔，*大可達(dá)200毫米，光致抗蝕劑在LIGA內(nèi)的去除技術(shù)，以及蝕刻工藝。
