可定制安裝在不銹鋼或者塑料工藝水槽內(nèi)的換能板
不銹鋼換能板可安裝在塑料或者不銹鋼水槽的底部（或者側(cè)壁）。塑料水槽內(nèi)使用的換能板可做PFA涂層。
標(biāo)準(zhǔn)換能板尺寸可適用于4" / 6" / 8" / 12"基板，也可定制不同尺寸的換能板。根據(jù)換能板尺寸，在水槽底部開(kāi)缺口，然后通過(guò)螺栓固定或者焊接將換能板安裝在水槽底部。通過(guò)這種方式，可以實(shí)現(xiàn)無(wú)縫和緊湊的集成。
應(yīng)用：
適用于清洗100 mm, 150 mm, 200 mm and 300 mm的基板和半導(dǎo)體晶圓，可同時(shí)清洗單個(gè)或者兩個(gè)料籃。
實(shí)例如下：
通過(guò)以下實(shí)例了解換能板是如何集成到不同類(lèi)型的水槽內(nèi)。
