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產(chǎn)品資料

IWAKI易威奇/半導體氣動泵CFD系列

IWAKI易威奇/半導體氣動泵CFD系列
  • 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
  • 產(chǎn)品名稱：IWAKI易威奇/半導體氣動泵CFD系列
  • 產(chǎn)品型號：CFD-1T-B
  • 產(chǎn)品展商：IWAKI易威奇
  • 產(chǎn)品文檔：無相關文檔
簡單介紹
IWAKI易威奇/半導體氣動泵CFD系列 化學補給泵，用于補充半導體工藝中的強酸和強堿清洗。
產(chǎn)品描述

IWAKI易威奇/半導體氣動泵CFD系列 化學補給泵        

產(chǎn)品特點：

●可控制圓晶清洗濃度的控制

●優(yōu)異的耐腐蝕性

所有接液部件均由氟樹脂（PTFE、PFA、PCTFE）制成，與強酸、強堿、過氧化氫等化學溶液兼容


IWAKI易威奇/半導體氣動泵CFD系列 化學補給泵       產(chǎn)品參數(shù)：

模型 CFD-1T-B CFD-8T-B
*大排放量 1mL/次注1 8mL/注注2
供氣壓力 0.15～0.3MPa
*大耗氣量 2.5NL/分鐘 5.4NL/分鐘
*大行程數(shù) 30次/分鐘
主要成分 PTFE、PFA、PCTFE
液體溫度范圍 20~60℃

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