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產(chǎn)品資料

IWAKI易威/低脈動(dòng)半導(dǎo)體氣動(dòng)泵

IWAKI易威/低脈動(dòng)半導(dǎo)體氣動(dòng)泵
  • 如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話，可以
  • 產(chǎn)品名稱：IWAKI易威/低脈動(dòng)半導(dǎo)體氣動(dòng)泵
  • 產(chǎn)品型號(hào)：FLP-60W
  • 產(chǎn)品展商：IWAKI易威奇
  • 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡單介紹
IWAKI易威/低脈動(dòng)半導(dǎo)體氣動(dòng)泵 FLP系列，無需阻尼器即可實(shí)現(xiàn)低脈動(dòng)，降低總體成本，適用于單晶圓工藝的負(fù)載追隨性優(yōu)異，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定運(yùn)行。
產(chǎn)品描述

IWAKI易威/低脈動(dòng)半導(dǎo)體氣動(dòng)泵 FLP系列       

產(chǎn)品特點(diǎn)：

●低脈動(dòng)

●可減少空氣消耗

●相位控制提高了負(fù)載波動(dòng)期間的跟隨性

●無需阻尼器可節(jié)省空間

IWAKI易威/低脈動(dòng)半導(dǎo)體氣動(dòng)泵 FLP系列  FLP-60W       產(chǎn)品參數(shù)：

*大排放量注 50L/min（供氣壓力0.2MPa、淡水25℃）
工作液溫度 5~100℃ 101~150℃ 151~180℃
*大供氣壓力 0.5MPa 0.4兆帕 0.3MPa
*大耗氣量 464NL/分鐘
*大行程數(shù) 160次/分鐘
主要成分 聚四氟乙烯、聚四氟乙烯
*大轉(zhuǎn)移液粘度 50毫帕·秒
連接管徑 ?25mm × ?22mm（PFA管）

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