它是一種流量傳感器,可以在一個(gè)單元中處理空氣,氮?dú)?,氬氣,二氧化碳?xì)怏w,混合氣體和5種氣體。 行業(yè)類別 保護(hù)氣體 半導(dǎo)體制造工藝(后期制造) N2吹掃相關(guān)設(shè)備 [不銹鋼體型] 新:流量范圍:高達(dá)1000升。 一個(gè)單元支持空氣,氮?dú)?,氬氣,二氧化碳?xì)怏w,混合氣體和5種氣體。 還提供專用于氧氣的型號(hào)(無油規(guī)格)。 可從JXR配件型和雙咬合型和螺桿型兩種配件中選擇。 針一體式有助于進(jìn)一步節(jié)省空間。
[樹脂體型] 一個(gè)單元支持空氣,氮?dú)?,氬氣,二氧化碳?xì)怏w,混合氣體和5種氣體。 有四種類型的接頭可供選擇:?jiǎn)斡|式彎頭,單觸式直頭,旋入式彎頭和旋入式直頭。 直接連接2通閥有助于進(jìn)一步節(jié)省空間。 針一體式有助于進(jìn)一步節(jié)省空間。
[高精度,高響應(yīng)] 與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比,重新設(shè)計(jì)的流路可將壓力損失降低多達(dá)50%。 流動(dòng)方向可以從正向,雙向和反向任意設(shè)定。 響應(yīng)時(shí)間:50毫秒
[使用 IO-Link 實(shí)現(xiàn)整個(gè)工廠的自動(dòng)化] 支持IO-Link可以傳輸參數(shù)和事件數(shù)據(jù),實(shí)現(xiàn)預(yù)測(cè)性維護(hù)。 適用于泄漏檢測(cè)和空氣消耗管理。
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