下一代清洗技術(shù),實(shí)現(xiàn)低損害和高清潔度
2006年,石英振動(dòng)體超聲清洗裝置投入實(shí)際使用。 在這種方法中,通過(guò)在振動(dòng)體上疊加超聲波對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行清洗。 與批量清洗和流水清洗相比,可以減少化學(xué)品的使用量,由于只有石英玻璃與液體接觸,沒(méi)有墊片等橡膠材料與液體接觸,因此能保持較高的清潔度。 石英振動(dòng)體有不同的形狀,以適應(yīng)不同的用途,能夠根據(jù)需要進(jìn)行有效的清洗,如低損傷清洗、大面積清洗、斜面(邊緣表面)和缺口(晶圓邊緣表面的缺口)的清洗等
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