UR系列產(chǎn)品為使用高精度壓力傳感器及高效,響應(yīng)迅速壓電陶瓷閥的數(shù)字式調(diào)節(jié)器。它??能控制收到的相關(guān)的外部控制信號(hào)。氣體接觸面的全金屬制造,使這些單元能夠在超純的氣體供應(yīng)系統(tǒng)里進(jìn)行理想的純凈的壓力控制。 HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精密液體流量控制里是非常有名的,以及擁有世界*大的市場(chǎng)份額。
制造: HORIBA STEC
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