高溫應用質量流量控制器 SEC-8000F/D/E系列

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• 規(guī)格

概要

SEC-8000F/D/E 系列, 可以在高溫環(huán)境下工作, 實現(xiàn)超潔凈狀況下百萬分之**別的超小流量的分析與控制，能夠滿足復雜多變的半導體制程需求。 而HORIBA集團也為可以給客戶提供全系列的產品而感到驕傲。

特征

• 具備數字式流量計的高精度性能-高控制精度：±1.0% 設定流量.
• 超快速響應
• 超潔凈處理
• 滿足RoHS 環(huán)境標準

制造: HORIBA STEC