它是搭載有溫控閥的基本型號。 利用小型裝置的SEC-310,可以進行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且,利用SEC-623可以進行小于200SLM的大流量控制。 高精度型號:SEC-405可以進行±0.5%F.S.的流量控制。
制造: HORIBA STEC
粵公網(wǎng)安備 51012402000291號