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西南區(qū)域代理RION日本理音液體粒子傳感器(光致抗蝕劑溶液相應(yīng)) KS-41A
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西南區(qū)域代理RION日本理音液體粒子傳感器(光致抗蝕劑溶液相應(yīng)) KS-41A
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西南區(qū)域代理RION日本理音液體粒子傳感器(光致抗蝕劑溶液相應(yīng)) KS-41A
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KS-41A
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RION日本理音
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西南區(qū)域代理RION日本理音液體粒子傳感器(光致抗蝕劑溶液相應(yīng)) KS-41A 西南區(qū)域代理RION日本理音液體粒子傳感器(光致抗蝕劑溶液相應(yīng)) KS-41A
產(chǎn)品描述
液中パーティクルセンサ KS-41A (フォトレジスト溶液対応)
0.15μmの粒子を、フォトレジスト溶液やSOGなどから測(cè)定可能。
*小可測(cè)粒徑0.15μm、定格流量10mL/min。
粒徑區(qū)分 (4段階、出荷時(shí))?!?.15μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm以上
液漏れセンサ內(nèi)蔵本體內(nèi)で液漏れ発生時(shí)に警報(bào)を出力。
粒徑範(fàn)囲內(nèi)で任意に粒徑を設(shè)定可能。 (KE-40B1の機(jī)能による)
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