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簡(jiǎn)易探針臺(tái)光電測(cè)試
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1.滿足I-V/C-V,PIV測(cè)試,光電測(cè)試等
2.可用于6英寸以內(nèi)樣品測(cè)試
3.同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu),終線性移動(dòng)
4.可放置于手套箱內(nèi)使用
參數(shù)規(guī)格
型號(hào):Huace-M4 Huace-M6
臺(tái)體
尺寸:4英寸 6英寸
水平旋轉(zhuǎn):可360°旋轉(zhuǎn),可微調(diào)15°,精度0.1°,帶角度鎖死裝置
X-Y移動(dòng)行程:2英寸*3英寸
X-Y移動(dòng)精度:10μm
樣品固定:真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環(huán)
針座平臺(tái):左右各一個(gè)針座平臺(tái),至多可放置6個(gè)探針座
背電極測(cè)試:樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空,4mm插孔可接背電極
顯微鏡
顯微鏡類型:?jiǎn)瓮诧@微鏡/體式顯微鏡
放大倍率:16X - 200X
移動(dòng)行程:水平方向繞立柱360°旋轉(zhuǎn),Z軸50.8mm
光源:外置LED無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源
CCD:200萬(wàn)像素/ 500萬(wàn)像素/ 1200萬(wàn)像素
探針座
X-Y-Z移動(dòng)行程:12mm*12mm*12mm
移動(dòng)精度:10μm / 2μm / 0.7μm / 0.5μm
吸附方式:磁力吸附/真空吸附
探針夾具
線纜:同軸線/三軸線
漏電精度:10pA / 100fA / 10fA
固定探針:彈簧固定/管狀固定
接頭類型:BNC /三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
探針
針尖直徑:0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm / 20μm
材質(zhì):鎢鋼/鈹銅
外形尺寸:400mm長(zhǎng)*380mm寬*500mm高
重量:約20kg
可選附件(根據(jù)客戶要求定制):
加熱臺(tái)
顯示器
轉(zhuǎn)接頭
射頻測(cè)試配件
屏蔽箱
光學(xué)平臺(tái)
鍍金卡盤
光電測(cè)試配件
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體器件研發(fā)
光電子與顯示技術(shù)
工業(yè)與工程應(yīng)用
