簡(jiǎn)易探針臺(tái)光電測(cè)試

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1.滿足I-V/C-V，PIV測(cè)試，光電測(cè)試等

2.可用于6英寸以內(nèi)樣品測(cè)試

3.同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，終線性移動(dòng)

4.可放置于手套箱內(nèi)使用

參數(shù)規(guī)格

型號(hào)：Huace-M4  Huace-M6

臺(tái)體

尺寸：4英寸  6英寸

水平旋轉(zhuǎn)：可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置

X-Y移動(dòng)行程：2英寸*3英寸

X-Y移動(dòng)精度：10μm

樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

針座平臺(tái)：左右各一個(gè)針座平臺(tái)，至多可放置6個(gè)探針座

背電極測(cè)試：樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極

顯微鏡

顯微鏡類型：?jiǎn)瓮诧@微鏡/體式顯微鏡

放大倍率：16X - 200X

移動(dòng)行程：水平方向繞立柱360°旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8mm

光源：外置LED無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源

CCD：200萬(wàn)像素/ 500萬(wàn)像素/ 1200萬(wàn)像素

探針座

X-Y-Z移動(dòng)行程：12mm*12mm*12mm

移動(dòng)精度：10μm / 2μm / 0.7μm / 0.5μm

吸附方式：磁力吸附/真空吸附

探針夾具

線纜：同軸線/三軸線

漏電精度：10pA / 100fA / 10fA

固定探針：彈簧固定/管狀固定

接頭類型：BNC /三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

探針

針尖直徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm / 20μm

材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅

外形尺寸：400mm長(zhǎng)*380mm寬*500mm高

重量：約20kg

可選附件（根據(jù)客戶要求定制）：

加熱臺(tái)

顯示器

轉(zhuǎn)接頭

射頻測(cè)試配件

屏蔽箱

光學(xué)平臺(tái)

鍍金卡盤

光電測(cè)試配件

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體器件研發(fā)

光電子與顯示技術(shù)

工業(yè)與工程應(yīng)用