企業(yè)信息
第9年
- 入駐時(shí)間： 2017-03-06
- 聯(lián)系人：張婧
- 電話：0512-67089211
-
聯(lián)系時(shí)，請說明易展網(wǎng)看到的
- Email：suz@tamasaki.com.cn
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- marktec碼科泰克
- KYOWA共和
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- SANKO山高
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- U-Technology...
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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
SF-3Rθ
OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)
搭載模式匹配功能，是X-Y定位精度2um以下的系統(tǒng)。OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3Rθ
詳情介紹：
SF-3Rθ
OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)
搭載模式匹配功能，是X-Y定位精度2um以下的系統(tǒng)。
特 長
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提供微細(xì)圖案，提供溫厚和各種厚度信息
實(shí)現(xiàn)高精度X-Y定位舞臺(tái)（注2μm以下），實(shí)現(xiàn)高精度的定位
MEMS和傳感器設(shè)備等對(duì)應(yīng)6英寸韋哈
（Options）：8和12英寸
除了晶片形狀以外也可以對(duì)應(yīng)
測定項(xiàng)目
- パターン付きウェーハ
- シリコンウェーハ、SiC、GaN、各種化合物ウェーハ
- テンポラリーウェーハ
スペック
スペック
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構(gòu)成図
測定例
■貼り合わせウェーハ（Si／ボンディング／サポート基板）
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Si膜厚分布（約25μｍ） |
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| ボンディング膜厚分布（約25μｍ） |
OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3Rθ
