OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)

用非接觸的溫哈和樹脂的超高速實(shí)時(shí)、高精度的測(cè)量。OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/300OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/300OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/300OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/300OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/300

特長(zhǎng)

非接觸、非破壞可進(jìn)行厚度測(cè)量

反射光學(xué)系統(tǒng)（可以通過(guò)一方的接觸來(lái)測(cè)量）

高速性（*快5ks）且可實(shí)時(shí)評(píng)價(jià)

實(shí)現(xiàn)高的穩(wěn)定性（重復(fù)精度0.01%）

粗枝大葉

可以對(duì)應(yīng)任何距離

對(duì)應(yīng)多層結(jié)構(gòu)（*大5層）

內(nèi)置NG數(shù)據(jù)的功能

可以測(cè)量距離（形狀）（組入傳感器的附屬選項(xiàng)）*

*根據(jù)測(cè)量范圍內(nèi)的光學(xué)距離測(cè)量

幅広い範(fàn)囲の膜厚に対応するとともに、高い波長(zhǎng)分解能を?qū)g現(xiàn)。
大塚電子獨(dú)自の技術(shù)をコンパクトボディに詰め込みました。

移動(dòng)する測(cè)定対象でも正確なピッチで測(cè)れるので、
工場(chǎng)の生産ラインにも*適です。

約φ20μmという微小スポットにより、
さまざまな表面狀態(tài)のサンプルにおいても、厚み測(cè)定が可能です。

*大200mmまで離れた位置からでも測(cè)定可能なため、
目的や用途に応じた測(cè)定環(huán)境を構(gòu)築可能です。

• 厚み測(cè)定（５層）

• 各種の厚膜部材厚み

仕様

＊1 ： 測(cè)定條件および解析條件により*小サンプリング周期は異なります。 
＊2 ： 製品出荷基準(zhǔn)の保証値スペックとなり、當(dāng)初基準(zhǔn)サンプルAirGap約300μmと
         約1000μm測(cè)定時(shí)の相対標(biāo)準(zhǔn)偏差（ n = 20 ） 
＊3 ： WD50mmプローブ仕様時(shí)の設(shè)計(jì)値
＊4 ： 特別仕様 
＊5 ： 薄膜測(cè)定時(shí)に使用 
※CE取得品はSF-3/300、SF-3/1300 

基本構(gòu)成

サポートウェーハ付き仮貼り合わせウェーハ

マッピング結(jié)果 研削後300mmウェーハシリコン厚み