ET200A配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD原位采集設(shè)計，可直接觀察到探針工作時的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測試區(qū)域。

傳感器（pick up）：

1.原理：直動式傳感器（業(yè)界**）

2. Z方向測定范圍：Max. 600μm

3. Z方向*小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率時)

4. 測定力：10uN ~500uN

5. 觸針半徑：2 μm60°鉆石針頭（另有多種可選）

6. 驅(qū)動方式：直動式

7. 再現(xiàn)性：1σ= 0.2nm(1um以下臺階時)

三、X 軸(基準(zhǔn)軸/測量軸)：

1. 移動量(*大測長)：100mm(±50mm)

2. 真直度：0.2μm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)

3. 移動,測定速度：0.005~20mm/s

4. 線性尺(linar scale)：X方向分辨率0.1μm

5. 位置重復(fù)誤差：±5um

七、工件觀察：

1. 彩色1/3”CCD，x4物鏡倍率

2. 綜合倍率：約320倍(使用19”monitor時)

3. 視野：1.2*0.9mm

4. 觀察方向：右側(cè)斜視

5. 照明：白色LED（可使用軟件調(diào)整明暗度）

八、軟件功能簡介：

1. 型號：i-STAR31

2. 可設(shè)定測量條件菜單、重復(fù)測量設(shè)定、解析菜單

3. 可設(shè)定下針座標(biāo)，實(shí)現(xiàn)定位后自動測量及解析功能

4. 可設(shè)定低通濾波，過濾噪音及雜訊

5. 具有返回測量啟始點(diǎn)功能

6. 顯示倍率：垂直方向50~2,000,000倍、縱方向1~10,000倍

7. 解析功能：主要圖型、段差解析、粗糙度解析、內(nèi)應(yīng)力分析、內(nèi)建多種段差解析菜單可

選