荷蘭Xensor Integration公司XEN-393和XEN-394量熱計芯片
-快速掃描量熱計傳感器
荷蘭Xensor Integration公司提供XEN-393是一系列微加工薄膜量熱計傳感器芯片,設(shè)計用于高溫掃描率下的小樣本測量。XEN-393系列采用鋁線電極互連,這限制了它們的溫度范圍低于XEN-394系列,后者采用金線電極互連。
該量熱計傳感器采用單面超薄氮化硅薄膜,具有對環(huán)境熱阻高、時間常數(shù)小等特點。這使得這些傳感器特別適用于氣體介質(zhì)環(huán)境中的測量和快速測量,如快速掃描量熱法。