Xensor Integration量熱計(jì)傳感器

Xensor Integration公司XEN-393是一系列微加工薄膜量熱計(jì)傳感器，設(shè)計(jì)用于高溫掃描率下的小樣本測量。XEN-393系列采用鋁互連，限制了它們的溫度范圍低于XEN-394系列，后者采用金線互連。XEN-393量熱計(jì)傳感器采用單面超薄氮化硅薄膜，具有對環(huán)境熱阻高、時(shí)間常數(shù)小等特點(diǎn)。這使得這些傳感器特別適用于氣體環(huán)境中的測量和快速測量，如快速掃描量熱法。

XEN-393量熱計(jì)傳感器特征
?加熱和冷卻速率高達(dá)1 MK/s
?樣品溫度范圍寬，從-273°C到500°C
XEN-393量熱計(jì)傳感器典型應(yīng)用： 研究聚合物、藥 物和爆炸材料的熱誘導(dǎo)物理轉(zhuǎn)變和化學(xué)過程，如結(jié)晶和重組。

XEN-393量熱計(jì)傳感器工作原理

量熱計(jì)傳感器由一個(gè)薄膜組成，懸浮在一個(gè)厚的硅框架中。集成加熱器加熱膜的中部：芯片的樣品區(qū)，熱電堆測量樣品區(qū)的溫度。通過這種方式，樣品可經(jīng)受預(yù)定溫度分布，以便觀察樣品隨溫度變化的行為。

XEN-393量熱計(jì)傳感器設(shè)計(jì)注意事項(xiàng)和差異
XEN-39390：這是一個(gè)較小尺寸的樣品面積量熱計(jì)芯片，樣品面積約為30x30μm，具有兩個(gè)4線加熱器（偏置和保護(hù)加熱器）內(nèi)的6對熱電堆。
XEN-39391和XEN-39395 ：這是一種中等尺寸的樣品面積量熱計(jì)芯片，熱點(diǎn)面積約為60x60μm和60x70μm，具有兩個(gè)4線加熱器內(nèi)的6對熱電堆。
XEN-39392和XEN-39399 ：這些是較大尺寸的樣品面積量熱計(jì)芯片，樣品面積約為100x100μm，具有兩個(gè)4線加熱器內(nèi)的6對熱電堆。XEN-39399具有多晶硅覆蓋的樣品區(qū)域，以改善溫度均勻性。
XEN-39397 和XEN-39398：這些是很大尺寸的樣品面積量熱計(jì)芯片。XEN-39398具有雙4線加熱器，樣品面積約為250x250μm，在兩個(gè)4線加熱器內(nèi)具有6對熱電堆。樣品區(qū)域被多晶硅覆蓋以改善溫度均勻性。XEN-39397有一個(gè)單4線加熱器和一個(gè)20對熱電堆，樣品面積為1000x1000μm，鋁覆蓋以改善溫度均勻性。