TCS208F和TCS208F3熱導(dǎo)氣體傳感器

黛爾特（北京）科技有限公司提供的TCS208F和TCS208F3熱導(dǎo)氣體傳感器元件由一個硅片組成，該硅片具有一層約1mm2的薄膜，該薄膜的材料具有非常好的電絕緣和熱絕緣性能。薄膜上有兩個薄膜電阻器,它們既用于加熱膜又用于測量膜溫度Tm。電阻器經(jīng)過鈍化處理，以保護它們免受氣體的影響。薄膜被二個小硅片完全覆蓋，硅片上蝕刻有一個矩形空腔。在薄膜上方形成的中空空間是導(dǎo)熱部分。氣體僅通過擴散而非流動通過膜蓋上的一個小橫向開口進入測量部分。傳感器芯片及其蓋子連接到硅支撐件上，硅支撐件也允許氣體交換到膜的下側(cè)。傳感器通過金線接合電連接到八引腳底座。由于膜周圍氣體的熱導(dǎo)率l，熱能從保持在較高溫度Tm的膜中耗散。測量的是溫度穩(wěn)定電路中保持膜的過量溫度DT恒定所需的信號。

TCS208F和TCS208F3熱導(dǎo)氣體傳感器特點

• 導(dǎo)熱系數(shù)氣體傳感器
• 硅微機械學(xué)
• 非常小的尺寸
• 短時間常數(shù)
• 極小氣體體積的測量
• 擴散氣體交換
• 測量氫含量熱導(dǎo)率
• 通過評估分析二元氣體
• 二氧化碳與甲烷的測定
• 天然氣判別
• 氦氣或氙含量的測量

TCS208F和TCS208F3熱導(dǎo)氣體傳感器應(yīng)用

• 工業(yè)應(yīng)用，氣體分析儀，例如氫氣分析儀和氦氣分析儀
• 氣體特性監(jiān)測
• 測定氣體濃度，例如氫氣傳感器、氦氣傳感器
• 填埋或消化氣體分析
• 不同來源氣體或成分氣體

黛爾特（北京）科技有限公司提供的TCS208F和TCS208F3熱導(dǎo)率氣體傳感器工作原理

黛爾特（北京）科技有限公司提供的TCS208F傳感器上的四個電阻器Rm1、Rm2、Rt1和Rt2分別為分別連接到TO8型底座上的八個引腳。在TCS208F3上，Rm1和Rm2以及Rt1和Rt2串聯(lián)連接。圖1顯示了從傳感器側(cè)看的引腳分配。為了操作傳感器，建議向兩個膜電阻器Rm1和Rm2施加大致相等的加熱功率，以避免加熱表面上的溫度梯度。用于通過重新測量環(huán)境溫度的功率，電阻器Rt1和Rt2不應(yīng)超過電阻器Rm1和Rm2中耗散的功率，以避免加熱傳感器芯片。

TCS208F和TCS208F3熱導(dǎo)率氣體傳感器訂購信息
“熱導(dǎo)率氣體傳感器TCS208F”或“熱導(dǎo)氣體傳感器TCS208F3”，適用于可選的3只針腳版本。

熱導(dǎo)氣體傳感器相關(guān)產(chǎn)品

熱導(dǎo)氫氣傳感器基于不同氣體的熱導(dǎo)率差異來工作。氫氣的熱導(dǎo)率遠高于空氣，因此在氫氣存在的情況下，傳感器的熱導(dǎo)率會發(fā)生變化，用于實時檢測氫氣泄漏情況?。其高靈敏度和快速響應(yīng)的特點，使得夠在氫氣泄漏達到危險水平之前及時發(fā)出警報，從而有效預(yù)防安 全事故。

• 熱導(dǎo)原理氫氣傳感器?優(yōu)點：熱導(dǎo)式傳感器可在大范圍內(nèi)實現(xiàn)較為快速的氫氣傳感（約在10秒內(nèi)）。它對于氫氣的檢測具有較寬的測量范圍，且在某些情況下能提供相對穩(wěn)定的性能?，而且壽命較長，在10年以上。這種熱導(dǎo)氫傳感器還可以檢測高濃度的殘氫排放，而且達到很高的精度。催化燃燒的氫氣傳感器無法進行殘氫氣檢測。
• 根據(jù)氫氣熱導(dǎo)率缺點：對高熱導(dǎo)率氣體（如氦、甲烷、一氧化碳等）會造成交叉敏感，難以實現(xiàn)對低濃度（500ppm以下）氫氣的準確檢測。

熱導(dǎo)原理氫氣傳感器在燃料電池車中的應(yīng)用，不僅提高了車輛的安 全性，還有助于保護環(huán)境和提升車輛性能。隨著燃料電池技術(shù)的不斷發(fā)展，熱導(dǎo)原理氫氣傳感器在燃料電池車中的應(yīng)用前景將更加廣闊。

TCD-5880-P2RW熱導(dǎo)氣體傳感器敏感元件技術(shù)參數(shù)規(guī)格（22℃和1 V電源）
參數(shù)                          類型*               單位                  符號                注釋
尺寸
裸模die尺寸                2.50 x 3.33        平方毫米
裸模厚度                     0.3                mm
膜厚                            1                    μm
重量                            0.72              克                     TO-5上的XEN-TCG3880
重量                            1.05                克                         XEN-TCG3880
輸出
真空中 在0毫巴            130             V/W            具體取決于生產(chǎn)批次
溫度系數(shù)（0 Pa）        -0.0            6%/K
空氣中在100 kPa         30             V/W                       無上部散熱器
空氣中在100 kPa         6              V/W                     上部散熱器為20μm
氦氣中在100 kPa         7             V/W
在空氣中，10 MPa         -13         %                 與輸出100 kPa相比的變化，R版本
氦氣中，10 MPa             2            %             與輸出100 kPa相比的變化，R版本
時間常數(shù)
在空氣中                     9             ms
真空中                         36         ms

穩(wěn)定性
短期                         10         ppm                                 1天，溫度良好+相對濕度穩(wěn)定
長期                         1200      ppm                                 1年，溫度和相對濕度校正
熱電堆 

阻抗                         55                     千歐                         Rtp
有效靈敏度                 1.3                 mV/K                     Stp                     指加熱器的溫度
固有靈敏度                 2.4                 mV/K                 平均塞貝克系數(shù)0.2 mV/K，12根線
溫度系數(shù)                     0.05                 K
加熱器
阻抗                             0.6          千歐                 Rheat
溫度系數(shù)                     0.1             K                     加熱器電阻的
熱電阻
薄膜                         100             kK/W             真空輸出除以熱電堆靈敏度
溫度系數(shù)                    -0.11             K                 真空中
膜+氣體                     23             kK/W                 空氣中
溫度系數(shù)                 -0.08                 K         空氣中
Max.加熱電壓                                      Uheat
在空氣中                 2.5                 V
真空中                     1                     V
傳感器環(huán)境溫度                                                         不保證終身無保障
Min.限度                     -250                     ℃                 輸出信號可能沒有顯著變化
                                -250至-273             ℃                     輸出信號減少
Max.限度                     240                     ℃                     在類似設(shè)備上測試，時間短
加熱器Max.溫度             250                 ℃                 長期無漂移，絕 對 Max.額定值
Pt100                 B級         ± 0.3         0℃                             0℃時誤差