溝槽刻蝕諧振式壓力傳感器在大氣數(shù)據(jù)測試儀中應(yīng)用

溝槽刻蝕諧振式壓力傳感器(TERPS)技術(shù)，是德魯克DRUCK半個(gè)世紀(jì)以來所研發(fā)的**技術(shù)的代表。其融合了***的設(shè)計(jì)、制造及封裝工藝，相比于上一代硅諧振技術(shù)（RPT系列），包括諧振器設(shè)計(jì)在內(nèi)的各項(xiàng)設(shè)計(jì)均進(jìn)行了不同程度的優(yōu)化，從而使其在更寬的溫度區(qū)間內(nèi)具備了±0.01%FS的全溫精度及±0.01%FS/年的長期穩(wěn)定性。一般來說，采用數(shù)字補(bǔ)償技術(shù)的**工業(yè)級壓力傳感器能在-20℃至80℃的補(bǔ)償溫度范圍內(nèi)達(dá)到±0.1%FS的精度。而TERPS則實(shí)現(xiàn)了1個(gè)數(shù)量級的性能提升。TERPS技術(shù)除了高精度之外，其優(yōu)越的長期穩(wěn)定性和可靠性使其在與其他氣壓測量器件的競爭中具備更好的維護(hù)成本優(yōu)勢。

溝槽刻蝕諧振式壓力傳感器顯著提高與傳統(tǒng)諧振壓力技術(shù)相關(guān)的壓力測試范圍的能力的同時(shí)，提供10倍于現(xiàn)有的壓阻式壓力傳感器的精度和穩(wěn)定性。溝槽刻蝕諧振式(TERPS)壓力傳感器是在對現(xiàn)有硅諧振壓力傳感器的設(shè)計(jì)和制造過程進(jìn)行深入的研發(fā)結(jié)果，它在從航空航天到海洋工程,海底勘探作業(yè)，從過程工藝到工業(yè)儀器設(shè)備等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

大氣數(shù)據(jù)測試儀是飛機(jī)維護(hù)、修理、定檢和航空飛行器研制過程中進(jìn)行動(dòng)靜壓測試的必需工具。通過在地面模擬飛機(jī)在空中飛行的空速、真空速、高度、馬赫、爬升率、靜壓、動(dòng)壓等跟大氣系統(tǒng)相關(guān)的參數(shù)，核查和校準(zhǔn)飛機(jī)儀表的準(zhǔn)確性，提高飛行**性。德魯克DRUCK生產(chǎn)的ADTS542F，ADTS552F和ADTS553F大氣數(shù)據(jù)測試儀內(nèi)內(nèi)都采用溝槽刻蝕諧振式壓力傳感器(TERPS)作為高度傳感器和空速傳感器，他們都滿足度符合*新的RVSM (縮小航道間距)規(guī)程，Pt總壓傳感器和Ps靜壓傳感器精度指標(biāo)在12個(gè)月內(nèi)優(yōu)于0.1mbar ,減少用戶的送檢時(shí)間和費(fèi)用。