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第9年

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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：EBARA荏原低溫冷卻器
產(chǎn)品型號(hào)：RJ-CA
產(chǎn)品廠商：EBARA荏原
產(chǎn)品價(jià)格：0
折扣價(jià)格：0
產(chǎn)品文檔：

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簡單介紹：

EBARA荏原低溫冷卻器 RJ-CA ，北崎有售，歡迎咨詢。

詳情介紹：

EBARA荏原低溫冷卻器 RJ-CA

型號(hào) RJ-CA

用于使用天然制冷劑（CO2）的半導(dǎo)體制造設(shè)備的低溫冷卻器

體積小，功率大

水冷

內(nèi)置泵

天然制冷劑 R744 （CO?）（GWP=1）

CE 標(biāo)志/SEMI/NRTL

減少占地面積

節(jié)能

產(chǎn)品介紹

該冷水機(jī)將天然制冷劑（CO2）用于半導(dǎo)體制造設(shè)備。內(nèi)置的緊湊型屏蔽泵和 Ebara 的變頻控制技術(shù)節(jié)省了空間和能源。 ± 0.1°C 的溫度控制成為可能，有助于提高工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)量。

型			RJ-CA1V 系列
冷卻能力（50Hz/60Hz）		千瓦	4.0 （-10°C 時(shí)） 10.0 （20°C 時(shí)）
溫度控制范圍		°C	-20~70°C
溫度控制精度		°C	± 0.1
尺寸（寬 x 深 x 高）		毫米	370 x 950 x 1080
質(zhì)量		公斤	190 （不含循環(huán)液或冷卻水）
循環(huán)液	使用的流體		FC-3283、HT135、SF-10 等
	壓力進(jìn)料泵容量	升/分鐘	20 （0.76MPa）
冷卻水	溫度范圍	°C	10~25
**標(biāo)準(zhǔn)			SEMI（S2. S8. F47）、CE、NRTL
權(quán)力		V	三相 200~208
運(yùn)行控制方法			變頻器控制方法
使用的制冷劑			R744（二氧化碳變暖潛值：1）