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第9年

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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：EBARA荏原廢氣處理設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào)：G6-E-A2
產(chǎn)品廠商：EBARA荏原
產(chǎn)品價(jià)格：0
折扣價(jià)格：0
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簡單介紹：

EBARA荏原廢氣處理設(shè)備 G6-E-A2，北崎有售，歡迎咨詢。

詳情介紹：

EBARA荏原廢氣處理設(shè)備 G6-E-A2

產(chǎn)品介紹

G6-E型屬于燃燒式廢氣處理裝置，適合用于半導(dǎo)體制造工序中的外延生長裝置等處所用含有大流量氫氣和氯氣的廢氣處理用途。采用緊湊式設(shè)計(jì)，*大可進(jìn)行200L/min氫氣處理，還能滿足同時(shí)進(jìn)行氫氣和氯氣處理的要求。標(biāo)配副產(chǎn)物去除功能，能夠降低維護(hù)成本和負(fù)荷。

規(guī)格

設(shè)備名稱	單位	G6-E A1~A4	G6-E P1~P4
處理方式		燃燒式 + 濕式	燃燒式 + 濕式
*大允許流入氣體量	L/min	400	400
燃料		城市燃?xì)?	丙烷氣體
尺寸	W x D x H mm	1,200×650×1,900mm	1,200×650×1,900mm
H?*大可處理流量	L/min	200	200
可處**體例		工藝（沉積）氣體 H2、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6等所有潔凈氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等	工藝（沉積）氣體 H2、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6等所有潔凈氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等
標(biāo)準(zhǔn)裝備品		大流量H2處理燃燒器	大流量H2處理燃燒器
標(biāo)準(zhǔn)裝備品		粉體去除用燃燒器刮板	粉體去除用燃燒器刮板
選項(xiàng)		自來水、污水使用量削減單元	自來水、污水使用量削減單元
選項(xiàng)		粉體排放削減用風(fēng)機(jī)洗滌器	粉體排放削減用風(fēng)機(jī)洗滌器