企業(yè)信息
第9年
- 入駐時間： 2016-09-29
- 聯(lián)系人：彭厚芹
- 電話：010-67868591
-
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- Email：phq@kitazaki.cn
產(chǎn)品目錄
- ISOLOC德國
- EIKO宇科
- GRPTOPS瑞士
- RHOSONICS荷蘭 羅森尼克斯
- ASHCROFT美國雅斯科
- ALDAK瑞士
- A-M Systems美國
- Airtrol美國
- PASCAL帕斯卡
- MISTUBISHI三菱
- TOSEI東靜
- OLEOCON土耳其
- AIHARADENKI相原電機
- URAS-TECHNO村上精機
- DINEL捷克
- YAMADA DOBBY
- TOGNELLA意大利多利拿
- CLAVEL法國
- EAGLESTARS二村
- SUGIDEN杉山電機
- Kashiyama樫山工業(yè)
- 機器人質(zhì)量比較儀
- METTLER TOLEDO 梅特勒托利多
- ASAHI-SPECTRA
- DRE東榮電子
- DAIICHI NEKKEN CO.,LTD. **熱研
- DIC迪愛生
- SES-STERLING法國
- STAUBLI瑞士史陶比爾
- Di-soric德國
- OPTRIS德國
- SERIC索萊克
- Fujikin富士金
- SANKO三高
- WAGO德國
- NPM日本脈沖
- 美國FLUKE福祿克
- TSI
- LINTEC林泰克
- RION理音
- BRUKER布魯克
- hamamatsu濱松光子
- KKIMAC萊馬克
- NIPPON GEAR日本齒輪
- MIYACHI天田
- S-VANS斯萬斯
- YODOGAWA淀川
- YUTAKA優(yōu)塔卡
- YAMADA雅瑪達
- NS日本精密科學(xué)
- Kakuhunter寫真化學(xué)
- MITUTOYO三豐
- MIYUKI美幸輝
- NOHKEN能研
- IWAKI易威奇
- NAGANO KEIKI長野計器
- THINKY日新基
- OHAUS奧豪斯
- SIBATA柴田
- TOKISANGYO東機產(chǎn)業(yè)
- NFK南國工業(yè)
- TOADKK東亞電波
- CCS晰寫速
- TOPCON拓普康
- METTLER梅特勒
- FUNATECH船越龍
- INFLIDGE英富麗
- AND愛安德
- ZAYTRAN
- RlKEN KElKl理研
- EABRA荏原
- DAIICHI NEKKEN**熱研
- ISHIZAKI石崎
- SONOSABER本多
- AIRTECH安泰
- TAISEIKIKO大成機工
- CHROMA致茂
- OSAWA大澤
- FORTUNE富創(chuàng)制作所
- TOAGOSEI東亞合成
- KEYSIGHT是德
- B&K
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- COJOT
- TAIHO大鵬
- PHOTRON活圖隆
- ETA-USA
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- EXCEL聽音機
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- YOKOGAWA橫河
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- TSUBAKI 椿本
- 北崎現(xiàn)貨
- ISOWATEC沃森-馬洛
- MIYAWAKI日本
聯(lián)系我們
聯(lián)系人：彭厚芹
聯(lián)系電話：010-67868591移動電話：13910926753 13910916953 15510102388
公司地址：北京市朝陽區(qū)住邦2000商務(wù)中心1號樓A座406B
Email：phq@kitazaki.cn
公司網(wǎng)址：http://www.kitazaki.com.cn
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
EBARA荏原 廢氣處理設(shè)備 G5-600-A2，北崎有售，歡迎咨詢。
詳情介紹：
EBARA荏原 廢氣處理設(shè)備 G5-600-A2
EBARA荏原 廢氣處理設(shè)備 G5-600-A2
產(chǎn)品介紹
G5型是制造工藝所用可高效處理各種氣體的燃燒式廢氣處理裝置?？膳刻幚矶喾N氣體，能夠高效進行通常處理起來較為困難的PFCs氣體的處理。通過**的副產(chǎn)物處理措施以及結(jié)合處理對象氣體種類和數(shù)量實施的可調(diào)式（燃料供應(yīng)量可調(diào)）運行，能夠降低運行成本。該裝置是半導(dǎo)體、液晶面板、太陽能電池和LED等電子元件制造以及化學(xué)材料工廠和各種研究室等用途的*佳選擇。產(chǎn)品陣容還包括*大流量為1,200L/min的大流量機型。
G5型
高效處理可燃性氣體和氟化溫室氣體（PFCs氣體）的燃燒式廢氣處理裝置
燃燒式廢氣處理裝置
批量處理多種氣體
高效處理PFCs氣體
副產(chǎn)物處理措施和粉塵自動排放功能
運行成本低
運行時間長
與氣體種類和數(shù)量相適應(yīng)的可調(diào)式運行
提高維護性能
可滿足CE標示/SEMI-S2/NRTL要求
規(guī)格
| 設(shè)備名稱 | 單位 | G5-350 A1~A4/P1~P4 | G5-500 A1~A4/P1~P4 | G5-600 A1~A4/P1~P4 | G5-1200 A1~A4/P1~P4 |
| 處理方式 | 燃燒式 + 濕式 | 燃燒式 + 濕式 | 燃燒式 + 濕式 | 燃燒式 + 濕式 | |
| *大允許流入氣體量 | L/min | 350 | 500 | 600 | 1200 |
| 燃料 | 選擇城市燃氣/丙烷氣體 | 選擇城市燃氣/丙烷氣體 | 選擇城市燃氣/丙烷氣體 | 選擇城市燃氣/丙烷氣體 | |
| 尺寸 | W x D x H mm | 1,200 x 650 x 1,900 | 1,200 x 650 x 1,900 | 1,200 x 1,100 x 2,000 | 1,200 x 1,100 x 2,200 |
| 可處**體例 |
工藝（沉積）氣體 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2等 所有潔凈氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等 所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等 PFCs CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6等 |
工藝（沉積）氣體 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2等 所有潔凈氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等 所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等 PFCs CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6等 |
工藝（沉積）氣體 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2等 所有潔凈氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等 所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等 PFCs CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6等 |
工藝（沉積）氣體 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2等 所有潔凈氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等 所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等 PFCs CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6等 |
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| 標準裝備品 | 粉體去除用燃燒器刮板 | 粉體去除用燃燒器刮板 | 粉體去除用燃燒器刮板 | 粉體去除用燃燒器刮板 | |
| 選項 | 自來水、污水使用量削減單元 | 自來水、污水使用量削減單元 | 自來水、污水使用量削減單元 | 自來水、污水使用量削減單元 | |
