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企業(yè)信息
第9年
  • 入駐時(shí)間： 2016-09-29
  • 聯(lián)系人：彭厚芹
  • 電話：010-67868591
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產(chǎn)品目錄
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移動電話：13910926753  13910916953 15510102388
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Email：phq@kitazaki.cn
公司網(wǎng)址：http://www.kitazaki.com.cn



產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：EBARA荏原 干式真空泵

  • 產(chǎn)品型號：ESA100WN
  • 產(chǎn)品廠商：EBARA荏原
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
EBARA荏原 干式真空泵 ESA100WN，北崎有售，歡迎咨詢。
詳情介紹：

EBARA荏原 干式真空泵 ESA100WN

EBARA荏原 干式真空泵 ESA100WN


產(chǎn)品介紹


ESA型產(chǎn)品陣容包括1400L/min～10,000L/min排氣量的機(jī)型，適合氫氣等輕質(zhì)氣體排氣，以及20,000L/min～80,000L/min排氣量的機(jī)型，適合大型腔室高速排氣。適合輕質(zhì)氣體排氣的10,000L/min以下機(jī)型采用緊湊化設(shè)計(jì)，可以選擇耐腐蝕性材料選配件，是MO-CVD等大流量輕質(zhì)氣體排氣用途的*佳選擇。大型機(jī)型兼具大排氣量和靜音低振的優(yōu)點(diǎn)，還可選擇有機(jī)溶劑排氣用選配件，是LCD濺鍍裝置、真空干燥工藝和大型預(yù)真空鎖等的*佳選擇。


規(guī)格

設(shè)備名稱 單位 ESA15-D ESA25-D ESA25XW ESA70W(-D) ESA70WN(-D) ESA80W-HDF ESA80WN-HDF ESA100W ESA100WN ESA200W ESA300W ESA500W ESA700W
排氣速度 L/min 1,400 (50Hz) 2,500 (50Hz) 5,000 (50Hz) 7,000 (50Hz) 7,000 (50Hz) 8,400 (50Hz/60Hz) 8,400 (50Hz/60Hz) 10,000 (50Hz/60Hz) 10,000 (50Hz/60Hz) 20,000 (50Hz/60Hz) 28,000 (50Hz) 47,000 (50Hz) 80,000 (50Hz/60Hz)
1,700 (60Hz) 3,000 (60Hz) 6,000 (60Hz) 8,400 (60Hz) 8,400 (60Hz) 30,000 (60Hz) 50,000 (60Hz)
極限壓力 Pa 400 (50Hz) 5.3 (50Hz) 5.3 (50Hz) 0.27 (50Hz) 0.4 (50Hz) 0.13 0.27 0.13 0.27 0.53 0.53 0.53 0.5
270 (60Hz) 4.0 (60Hz) 4.0 (60Hz) 0.13 (60Hz) 0.27 (60Hz)
連接口徑 吸氣口 NW40 NW50 ISO80 NW50 NW50 NW50 NW50 NW50 NW50 NW80 ISO100 ISO160 ISO160
排氣口 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW50
極限壓力時(shí)功率概值 kW 2.9 (50Hz) 2.6 (50Hz) 5.2 (50Hz) 3.6 (50Hz) 3.6 (50Hz) 4.2 4.2 4.9 4.9 3.2 (50Hz) 6.6 (50Hz) 5.1 (50Hz) 7.4
3.2 (60Hz) 2.9 (60Hz) 5.8 (60Hz) 4.0 (60Hz) 4.0 (60Hz) 3.4 (60Hz) 7.3 (60Hz) 6.7 (60Hz)
冷卻水 流量 L/min 3.5~8 3.5~8 7~16 3.5~8 3.5~8 3.5~8 3.5~8 3.5~8 3.5~8 3.5~8 6~9 6~9 6~9
溫度 ℃ Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30
N2 流量 Pa?m3/s 14~17 (4.6) 17~20 (3.8) 34~40 24~27 (4.7) 24~27 (4.7) 54~57 54~57 54~57 54~45 17~20 (3.8) 7.5~10.5 8.5~11 8.5~11
電源　相／電壓／頻率 200V機(jī)型 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz 		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
400V機(jī)型 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz 		-
460V機(jī)型 三相/440V/50Hz
三相/440-480V/60Hz 		三相/440V/50Hz
三相/440-480V/60Hz 		三相/440V/50Hz
三相/440-480V/60Hz
電源容量 kVA 6.4 6.4 12.8 10.3 10.3 12.6 12.6 12.6 12.6 12 23.7 41.3 46.5
質(zhì)量概值 kg 240 240 480 380 380 400 400 400 400 410 700 750 1200




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