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第9年
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聯(lián)系人：彭厚芹
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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
EBARA荏原 緊湊干式真空泵ESA100WN
詳情介紹：
EBARA荏原 緊湊干式真空泵ESA100WN
EBARA荏原 緊湊干式真空泵ESA100WN
ESA 型號陣容包括適用于氫氣等輕質(zhì)氣體排氣的排量為 1,400 L/min ~ 10,000 L/min 的排量型號，以及適用于大室高速排氣的排量為 20,000 L/min ~ 80,000 L/min 的型號。 適用于低于 10,000 L/min 的輕型氣體排放，提供緊湊的設(shè)計和耐腐蝕材料選項，使其成為 MO-CVD 等高流量輕型氣體排放應(yīng)用的理想選擇。 大型型號排量大，但噪音小、振動小，可選擇有機(jī)溶劑排氣選項，非常適合 LCD 濺射設(shè)備、真空干燥工藝、大負(fù)載鎖等。
| 型 | 單位 | 歐空盤 15-D | ESA25-D 系列 | ESA25XW | ESA70W（-D） 系列 | ESA70WN（-D） | ESA80W-HDF 系列 | ESA80WN-高密度纖維板 | ESA100W | ESA100WN | ESA200W | ESA300W | ESA500W | ESA700W | |
| 抽速 | 升/分鐘 | 1,400 （50 赫茲） | 2,500 （50 赫茲） | 5,000 （50 赫茲） | 7,000 （50 赫茲） | 7,000 （50 赫茲） | 8,400 （50 赫茲/60 赫茲） | 8,400 （50 赫茲/60 赫茲） | 10,000 （50Hz/60Hz） | 10,000 （50Hz/60Hz） | 20,000 （50 赫茲/60 赫茲） | 28,000 （50 赫茲） | 47,000 （50 赫茲） | 80,000 （50 赫茲/60 赫茲） | |
| 1,700 （60 赫茲） | 3,000 （60 赫茲） | 6,000 （60 赫茲） | 8,400 （60 赫茲） | 8,400 （60 赫茲） | 30,000 （60 赫茲） | 50,000 （60 赫茲） | |||||||||
| 極限壓力 | 帕 | 400 （50 赫茲） | 5.3 （50 赫茲） | 5.3 （50 赫茲） | 0.27 （50 赫茲） | 0.4 （50 赫茲） | 0.13 | 0.27 | 0.13 | 0.27 | 0.53 | 0.53 | 0.53 | 0.5 | |
| 270 （60 赫茲） | 4.0 （60 赫茲） | 4.0 （60 赫茲） | 0.13 （60 赫茲） | 0.27 （60 赫茲） | |||||||||||
| 連接直徑 | 進(jìn)氣口 | 西北 40 | 西北 50 | ISO80認(rèn)證 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 80 | ISO100 認(rèn)證 | ISO160 認(rèn)證 | ISO160 認(rèn)證 | |
| 排氣口 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 50 | ||
| 極限壓力下的近似功率 | 千瓦 | 2.9 （50 赫茲） | 2.6 （50 赫茲） | 5.2 （50 赫茲） | 3.6 （50 赫茲） | 3.6 （50 赫茲） | 4.2 | 4.2 | 4.9 | 4.9 | 3.2 （50 赫茲） | 6.6 （50 赫茲） | 5.1 （50 赫茲） | 7.4 | |
| 3.2 （60 赫茲） | 2.9 （60 赫茲） | 5.8 （60 赫茲） | 4.0 （60 赫茲） | 4.0 （60 赫茲） | 3.4 （60 赫茲） | 7.3 （60 赫茲） | 6.7 （60 赫茲） | ||||||||
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 3.5~8 | 3.5~8 | 7~16 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 6~9 | 6~9 | 6~9 |
| 溫度 | °C | *多 30 個 | *多 30 個 | *多 30 個 | *多 30 個 | *多 30 個 | *多 30 個 | *多 30 個 | *多 30 個 | *多 30 個 | *多 30 個 | *多 30 個 | *多 30 個 | *多 30 個 | |
| 注 2 | 流量 | 帕?m3/秒 | 14~17 （4.6） | 17~20 （3.8） | 34~40°C | 24~27 （4.7） | 24~27 （4.7） | 54~57 元 | 54~57 元 | 54~57 元 | 54~45 元 | 17~20 （3.8） | 7.5~10.5 | 8.5~11°C | 8.5~11°C |
| 電源相位/電壓/頻率 | 200V 型號 |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz |
|
| 400V 型號 |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz |
- | ||
| 460V 型號 |
三相/440V/50Hz 三相/440-480V/60Hz |
三相/440V/50Hz 三相/440-480V/60Hz |
三相/440V/50Hz 三相/440-480V/60Hz |
||||||||||||
| 電源容量 | 千伏安 | 6.4 | 6.4 | 12.8 | 10.3 | 10.3 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12 | 23.7 | 41.3 | 46.5 | |
| 近似質(zhì)量 | 公斤 | 240 | 240 | 480 | 380 | 380 | 400 | 400 | 400 | 400 | 410 | 700 | 750 | 1200 | |
