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企業(yè)信息
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  • 入駐時間: 2016-09-29
  • 聯(lián)系人:彭厚芹
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  • Email:phq@kitazaki.cn
產(chǎn)品目錄
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公司地址:北京市朝陽區(qū)住邦2000商務中心1號樓A座406B
Email:phq@kitazaki.cn
公司網(wǎng)址:http://www.kitazaki.com.cn



產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:EBARA荏原EV-X200N干式真空泵現(xiàn)貨

  • 產(chǎn)品型號:進口供應
  • 產(chǎn)品廠商:EBARA荏原
  • 產(chǎn)品價格:0
  • 折扣價格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
EBARA荏原EV-X200N干式真空泵現(xiàn)貨
詳情介紹:

EBARA荏原EV-X200N干式真空泵現(xiàn)貨

EBARA荏原EV-X200N干式真空泵現(xiàn)貨


 產(chǎn)品概述
(1) 廣泛的工藝覆蓋范圍
大流量主泵和我們獨特的副產(chǎn)品對策支持廣泛的工藝,從離子注入等低氣體流量工藝到外延生長等大氣體流量工藝,以及產(chǎn)生大量副產(chǎn)品(如 TiN 沉積)的工藝。 還可以減少備用機器的庫存并在未來擴展流程。

(2) 由于新開發(fā)的模塊化設計,小型化和更短的交貨時間 采用針對
自動化工廠制造的模塊化設計進行了優(yōu)化,以縮短交貨時間并進一步實現(xiàn)小型化。 隨著設備和腔室數(shù)量的增加,可以高效靈活地布置承受壓力的 sub-fab 空間。

(3) 降低
TCoO 我們獨特的轉(zhuǎn)子設計和節(jié)能技術(shù)使功耗比我們目前的型號降低了 25~50%。
它有助于減少 CO2 排放。 此外,每個過程的*佳溫度控制提高了
工藝阻力。 延長零件的更換周期有助于減少 TCoO。


EV-X100N EV-X200N  EV-X300N
*大抽速 (L/min) 10,000 20,000 30,000
極限壓力 (Pa) 0.5 0.5 0.5
電源規(guī)格 三相 200-220V (50/60Hz) 三相 200-220V (50/60Hz) 三相 200-220V (50/60Hz)
工作范圍功耗 (kW)* 0.9 1 1.5


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