LINTEC林泰克 DeviceNet® 質量流量控制器  MC-5470L
LINTEC林泰克 DeviceNet® 質量流量控制器  MC-5470L

DeviceNet質量流量控制器MC-5000L
DeviceNet通訊接口專用質量流量控制器。
*新的半導體制造設備上所搭載的控制器不再采用模擬通訊，而是采用開放式現(xiàn)場網絡通訊技術，以達到高速控制和簡化布線的目的。
在LINTEC，我們**于行業(yè)開發(fā)了符合SEMI認證標準的DeviceNet?通訊專用質量流量控制器MC-5000L。該系列產品配備了半導體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC**的環(huán)境溫度補足式質流傳感器，還支持液化氣體等多種選配規(guī)格。
特點
精度范圍±1%S.P.
使用溫度5～50℃
金屬密封件
無塵生產（粒子標準監(jiān)控）
環(huán)境溫度補足式質流傳感器
DeviceNet?通訊
選配規(guī)格
小流量F.S.
液化氣體
大流量范圍
使用范例
配線簡化，節(jié)省成本
越來越多的半導體設備采用現(xiàn)場網絡進行控制操作。DeviceNet通訊專用MFC （MC-5000L）不需要AD/DA轉換器或IO板，具有成本低，配線少的特點。
簡 介
MC-5000L系列主要是根據 SEMI標準所制成的 DeviceNet 通訊接口質量流量控制器特點
通訊接口采用傳感器驅動網絡 DeviceNet (ODVA)。(ODVA SEMI SIG MFC Profile)可依需求選擇機臺上側或旁側的通訊接口插座搭配 LINTEC **的環(huán)境溫度補償式質流傳感器內置微處理器提高處理效能
控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構造所組成
采用高速度，高性能的壓電控制閥
使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護性提高采用金屬外殼以及各種濾波器，在高磁噪音及直流磁場的環(huán)境下亦能維持其安定性