TSI美國進口 不帶閥的液體流量控制器 2950-10
TSI美國進口 不帶閥的液體流量控制器 2950-10

不帶閥的液體流量控制器 2950
型號：2950-01MSP Turbo? 液體流量控制器 2950 基于現(xiàn)場驗證的技術(shù)，可與 MSP Turbo II? 氣化器配合使用，為半導體薄膜沉積工藝（包括 CVD、PECVD、ALD 和 MOCVD）提供可靠、高性能的液氣輸送解決方案。
產(chǎn)品詳情
Turbo? 液體流量控制器 2950 包含定制設(shè)計的高精度、高速流量傳感器和精心設(shè)計的流量控制電子設(shè)備，可提供先進半導體加工所需的***性能。
精密流量控制
2950 LFC 集成了流量傳感器和液體控制電子元件，用于調(diào)節(jié) MSP 的 Turbo II? 蒸發(fā)器上的壓電閥。對于沒有板載壓電閥的蒸發(fā)器，請考慮使用 2950V 系列 Turbo? LFC 進行有效的流量控制。
應用
半導體薄膜沉積工藝化學氣相沉積 （CVD）
等離子體增強化學氣相沉積 （PECVD）
Atmoic layer deposituion （ALD） （大氣層沉積物 （ALD））
金屬有機化學氣相沉積 （MOCVD）
具有一致流速要求的應用
特性和優(yōu)勢
固定流量
出色的精度和線性度
超快響應時間
**的可重復性
寬流量范圍選項

提供 Turbo? LFC 型號

?使用 TEOS 作為參比液在 23±2°C 下測定的標稱*大流量。 流量范圍是指定液體的函數(shù)。