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企業(yè)信息
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  • 入駐時間: 2016-09-29
  • 聯(lián)系人:彭厚芹
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公司網(wǎng)址:http://www.kitazaki.com.cn



產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:膜厚計測*大 300 mm 的晶圓涂層厚度

  • 產(chǎn)品型號:300mm晶圓測量
  • 產(chǎn)品廠商:Kakuhunter寫真化學(xué)
  • 產(chǎn)品價格:0
  • 折扣價格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
膜厚計測*大 300 mm 的晶圓涂層厚度,自動對位功能和使用具有高平整度的晶圓卡盤可實現(xiàn)可靠的薄膜厚度測量。
詳情介紹:


長處

映射涂層測厚儀能夠在*大 300 mm 的晶圓的所有表面上自動映射膜厚測量。 自動對位功能和使用具有高平整度的晶圓卡盤可實現(xiàn)可靠的薄膜厚度測量。 此外,它可以安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備的負(fù)載端口,以在保持清潔度的同時管理制造設(shè)備上的薄膜厚度。

  1. 1

    能夠?qū)?大 300 mm 的晶圓的整個表面進行自動涂層厚度映射測量

  2. 2

    自動對位功能

  3. 3

    通過使用具有高平整度的晶圓卡盤,提高晶圓表面的測量可靠性

    • 通過自動檢測缺口和無花柱位置,以及自動檢測晶圓偏心率,實現(xiàn)高精度測量。
  4. 4

    可根據(jù)應(yīng)用選擇三種類型的光源。

  5. 5

    透明蓋,便于在測量過程中查看運動

  6. 6

    一體化節(jié)省空間的設(shè)計

  • 測量數(shù)據(jù)示例(2D 膜厚分布)層壓晶圓的硅
    厚度 (nm)

  • 測量數(shù)據(jù)示例(3D 薄膜厚度分布)層壓晶圓的硅厚度
    (nm)

  • 測量數(shù)據(jù)示例(薄膜厚度的頻率分布)層壓晶圓中的硅厚度

  • 測量數(shù)據(jù)示例(多個晶圓的膜厚分布箱線圖)5 個晶圓的膜厚分布趨勢




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